ポジ型感光性樹脂組成物並びにそれらを用いた半導体装置及び表示素子

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004379061
Publication number (International publication number)：2006184660
Application date： Dec. 28, 2004
Publication date： Jul. 13, 2006
Summary：

【課題】特に金属との密着性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂又はポリイミド樹脂又はその共重合樹脂を提供することを目的とするポリアミド樹脂とそれらを用いた露光特性に優れるポジ型感光性樹脂組成物を提供するものである。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感光性ジアゾキノン化合物、及び、(C)窒素原子を2つ以上含む複素環式化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、成分(C)が窒素原子を3つ以上含む複素環式化合物であることが好ましい。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂、 (B)感光性ジアゾキノン化合物、及び、 (C)窒素原子を2つ以上含む複素環式化合物、を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 , G03F 7/022 , G03F 7/037 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (5)：

G03F7/004 501 , G03F7/022 , G03F7/037 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R

F-Term (13)：

2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB24 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CC06 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H025FA30

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開平1-46862号公報
特開昭63-001584号公報

Cited by examiner (13)

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-187775 Applicant：東レ株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-265237 Applicant：住友ベークライト株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及び電子部品の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-149945 Applicant：日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

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