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J-GLOBAL ID:200903057401192740

感光性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大谷 保
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005212661
Publication number (International publication number):2007033518
Application date: Jul. 22, 2005
Publication date: Feb. 08, 2007
Summary:
【課題】 透明性、耐熱性、耐熱変色性に優れ、塗布性、現像性、保存安定性の良好な感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート(a1)とエポキシ基含有不飽和化合物(a2)とを重合成分として含む共重合体[A]及びキノンジアジド基含有化合物[B]を含有する樹脂組成物とする。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
ヒドロキシフェニル(メタ)アクリレート(a1)とエポキシ基含有不飽和化合物(a2)とを重合成分として含む共重合体[A]及びキノンジアジド基含有化合物[B]を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (2):
G03F 7/038 ,  H01L 21/027
FI (2):
G03F7/038 503 ,  H01L21/30 502R
F-Term (14):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC17 ,  2H025FA29
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (8)
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