縦型熱処理装置及びその運用方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金坂憲幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004303614
Publication number (International publication number)：2006120658
Application date： Oct. 19, 2004
Publication date： May. 11, 2006
Summary：

【課題】フットプリントを増やすことなく運搬容器の保管数量の増大が図れ、スループットの向上が図れる縦型熱処理装置及びその運用方法を提供する。【解決手段】複数枚の被処理体wを収納した運搬容器2を搬入搬出するための搬入搬出部3,4と、該搬入搬出部3,4から搬入された複数の運搬容器2を保管する第1保管部5と、多数枚の被処理体wを多段に保持した保持具6を収容して被処理体wに所定の熱処理を施す熱処理炉7と、前記保持具6と運搬容器2との間で被処理体wの移載を行うために運搬容器2を載置する移載部8とを備えた縦型熱処理装置1であって、前記搬入搬出部3,4を上下2段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部3,4間に運搬容器2を保管する第2保管部20を設けている。前記搬入搬出部3,4の何れかが運搬容器2を保管する第3保管部30とされる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

複数枚の被処理体を収納した運搬容器を搬入搬出するための搬入搬出部と、該搬入搬出部から搬入された複数の運搬容器を保管する第1保管部と、多数枚の被処理体を多段に保持した保持具を収容して被処理体に所定の熱処理を施す熱処理炉と、前記保持具と運搬容器との間で被処理体の移載を行うために運搬容器を載置する移載部とを備えた縦型熱処理装置であって、前記搬入搬出部を上下2段設けると共に、上段と下段の搬入搬出部間に運搬容器を保管する第2保管部を設けたことを特徴とする縦型熱処理装置。

IPC (2)：

H01L 21/677 , H01L 21/205

FI (2)：

H01L21/68 A , H01L21/205

F-Term (28)：

4K030CA04 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030GA11 , 4K030KA04 , 4K030LA15 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA03 , 5F031GA43 , 5F031MA09 , 5F031MA28 , 5F031MA30 , 5F031NA07 , 5F031PA02 , 5F031PA09 , 5F031PA30 , 5F045AA03 , 5F045AA06 , 5F045AA08 , 5F045BB08 , 5F045DP19 , 5F045EN04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

半導体製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-279506 Applicant：株式会社日立国際電気

Cited by examiner (7)

基板処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-268957 Applicant：国際電気株式会社
熱処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-289537 Applicant：光洋リンドバーグ株式会社
半導体製造装置及び該半導体製造装置に於けるウェーハカセット内のウェーハ位置ずれ修正方法及びウェーハカセット搬送方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-132864 Applicant：国際電気株式会社

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