角速度センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998240806
Publication number (International publication number)：2000065581
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】新規な構成にて精度よく角速度を検出することができる角速度センサを提供する。【解決手段】シリコン基板2の上に絶縁層を介してシリコン層を形成したSOI基板におけるシリコン基板2には貫通孔7a〜7dが形成され、梁11a〜11dを有する可動構造体9が区画されている。可動構造体9はシリコン基板2の表面に平行なY方向に励振する。可動構造体9の上には可動薄膜13がシリコン基板2の表面に垂直なZ方向に所定の間隔をおいて移動可能に支持され、可動薄膜13と可動構造体9により角速度検出用の対向電極が構成されている。可動構造体13の上に配線27が延設され、基板1の上方に配置した永久磁石による磁場と配線27を流れる電流によりローレンツ力が発生して可動構造体9が励振する。

Claim (excerpt)：

半導体基板に形成した貫通孔により、梁を有し半導体基板の表面に平行な方向に励振する可動構造体を区画するとともに、この可動構造体に対し前記半導体基板の表面に垂直な方向に所定の間隔をおいて移動可能に支持された可動薄膜を配置し、この可動薄膜と可動構造体により角速度検出用の対向電極を構成したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

F-Term (9)：

2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105BB12 , 2F105BB13 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD07 , 2F105CD13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

回転率センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-191072 Applicant：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
振動ジャイロセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-292586 Applicant：住友精密工業株式会社
半導体マイクロマシン及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-022037 Applicant：アイシン精機株式会社

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