集積型SPMセンサ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：最上健治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994288578
Publication number (International publication number)：1996129015
Application date： Oct. 31, 1994
Publication date： May. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】センサを集積化したカンチレバーのねじれや反りの発生を防止し、良好なSPM測定を可能にした集積型SPMセンサを提供する。【構成】カンチレバー部1と、支持部2と、カンチレバー部1の自由端に設けられた探針3と、探針3の近傍に設けたセンサ用の第1及び第2のコンタクトホール4,5と、センサ用の第1及び第2の配線6,7とボンディングパッド部8,9とを備え、第1及び第2のコンタクトホール4,5並びに第1及び第2の配線6,7を、カンチレバー部1の自由端中心から支持部2に向かって伸びる中心線10に対して対称になるように配設して集積型SPMセンサを構成する。

Claim (excerpt)：

支持部より伸びたカンチレバー上にセンサを設けた集積型SPMセンサにおいて、前記センサへの電源供給及び信号検出用配線をカンチレバー自由端中心から支持部に向かって伸びる中心線に対して対称に配設したことを特徴とする集積型SPMセンサ。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

集積型AFMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256855 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
集積型SPMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-063547 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-072504

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