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J-GLOBAL ID：200903039333357428

化学増幅型ホトレジスト組成物のモノマー

Inventor： 陳 啓盛 ,  李 晏成 ,  鄭 孟勲
Applicant, Patent owner： エバーライトユーエスエー インコーポレイティッド
Agent (5)： 竹本 松司 ,  杉山 秀雄 ,  湯田 浩一 ,  魚住 高博 ,  手島 直彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003134664
Publication number (International publication number)：2004002416
Application date： May. 13, 2003
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：

【課題】化学増幅型ホトレジスト組成物のモノマーの提供。【解決手段】化学増幅型ホトレジスト組成物のモノマーは、化学構造式49に示される(I)の構造を具えた化合物であり、R1 はH或いはC1 -C4 のアルキル基、R2 は水酸基、C1 -C8 のアルコキシル基或いはC1 -C8 のチオアルキル基、Gは(CH2 )n 、O或いはS、そのうちnは0〜4の整数、Rcはラクトン基、mは1〜3の整数である。この化合物は良好な親水性、付着性及び抗ドライエッチング性を具えたポリマーの合成に適合し、特に他のモノマーと組み合わせて共重合によりポリマーを合成するのに適合する。【化49】

Claim (excerpt)：

以下の化学構造式1において(I)で示される化合物であり、

IPC (5)：

C07D307/93 ,  C07D307/88 ,  C07D493/08 ,  C08F20/10 ,  G03F7/039

FI (5)：

C07D307/93 ,  C07D307/88 ,  C07D493/08 A ,  C08F20/10 ,  G03F7/039 601

F-Term (39)：

2H025AA00 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4C037RA01 ,  4C037XA10 ,  4C071AA03 ,  4C071BB02 ,  4C071CC12 ,  4C071DD08 ,  4C071EE05 ,  4C071FF15 ,  4C071HH05 ,  4C071HH08 ,  4C071KK11 ,  4C071LL03 ,  4C071LL05 ,  4J100AL08P ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA11P ,  4J100BA51P ,  4J100BC04P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-156962   Applicant：株式会社東芝
• ポジ型レジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-051811   Applicant：東京応化工業株式会社
• ラクトン構造を有する多環式化合物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-109446   Applicant：三菱化学株式会社
• (メタ)アクリル酸エステル、その原料アルコール、および、それらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-366958   Applicant：三菱レイヨン株式会社