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J-GLOBAL ID:200903039463425840
透明導電性積層体
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松橋 泰典
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2003299001
Publication number (International publication number):2004322628
Application date: Aug. 22, 2003
Publication date: Nov. 18, 2004
Summary:
【課題】 本発明は、面抵抗のばらつきが少なく、耐酸性、密着性の優れたスズ濃度の異なる酸化インジウム多層積層体及びその工業的製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 透明な基板の少なくとも一方の面に、少なくとも2層の金属酸化物層が形成されている透明導電性積層体において、外界と接触する最外層が、スズをインジウムに対して20重量%以上含む酸化インジウム層または酸化スズ膜であり、該最外層と基板の間にスズをインジウムに対して3〜10重量%の範囲で含む酸化インジウム層を少なくとも1層有し、スズを含む酸化インジウム各層中のスズ濃度が、各層の深さ方向に一定であることを特徴とする透明導電性積層体。
Claim (excerpt):
透明な基板の少なくとも一方の面に、少なくとも2層の金属酸化物層が形成されている透明導電性積層体において、外界と接触する最外層が、スズをインジウムに対して20重量%以上含む酸化インジウム層または酸化スズ膜であり、該最外層と基板の間にスズをインジウムに対して3〜10重量%の範囲で含む酸化インジウム層を少なくとも1層有し、スズを含む酸化インジウム各層中のスズ濃度が、各層の深さ方向に一定であることを特徴とする透明導電性積層体。
IPC (4):
B32B9/00
, C03C17/34
, H05B33/14
, H05B33/28
FI (4):
B32B9/00 A
, C03C17/34 Z
, H05B33/14 A
, H05B33/28
F-Term (40):
3K007AB05
, 3K007AB12
, 3K007AB15
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DB03
, 4F100AA28B
, 4F100AA28C
, 4F100AA28D
, 4F100AA28E
, 4F100AB07B
, 4F100AB07C
, 4F100AB07D
, 4F100AB07E
, 4F100AG00A
, 4F100AT00A
, 4F100BA03
, 4F100BA05
, 4F100BA07
, 4F100BA26
, 4F100EH46
, 4F100EJ48
, 4F100GB41
, 4F100JB01
, 4F100JG01
, 4F100JG04
, 4F100JN01
, 4F100JN01A
, 4F100YY00B
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AC14
, 4G059EA02
, 4G059EB06
, 4G059GA01
, 4G059GA04
, 4G059GA12
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
-
透明導電性フィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-325449
Applicant:三井東圧化学株式会社
Cited by examiner (10)
-
タッチパネル用透明導電性フィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-219092
Applicant:王子製紙株式会社
-
スズドープ酸化インジウム膜の高抵抗化方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-312940
Applicant:日本曹達株式会社
-
透明導電薄膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-076915
Applicant:株式会社豊田中央研究所
-
透明導電性薄膜積層体及びそのエッチング方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-080820
Applicant:三井化学株式会社
-
透明導電性フィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-325449
Applicant:三井東圧化学株式会社
-
透明導電性フィルム及び分散型EL素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-106744
Applicant:三井化学株式会社
-
特開昭62-293220
-
透明導電膜およびその製造方法並びにその用途
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-294138
Applicant:東ソー株式会社, ジオマテック株式会社
-
薄膜形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-146345
Applicant:キヤノン株式会社
-
高抵抗化スズドープ酸化インジウム膜の成膜方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-217192
Applicant:日本曹達株式会社
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