ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007300481
Publication number (International publication number)：2009127059
Application date： Nov. 20, 2007
Publication date： Jun. 11, 2009
Summary：

【課題】シンプルな工程で、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜の付着強度を向上させることができるダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法を提供する。【解決手段】ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)基板11の表面をプラズマ照射により改質し、この改質されたPTFE基板11の表面に、化学気相蒸着法によりダイヤモンドライクカーボン膜12を形成する。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

ポリテトラフルオロエチレンからなる基材の表面をプラズマ照射により改質する表面改質工程と、プラズマ照射により改質された前記基材の表面に、化学気相蒸着法によりダイヤモンドライクカーボン膜を形成する膜形成工程とを含むことを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。

IPC (2)：

C23C 16/02 , C23C 16/27

FI (2)：

C23C16/02 , C23C16/27

F-Term (7)：

4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030CA02 , 4K030CA07 , 4K030DA02 , 4K030FA03 , 4K030LA23

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-164627 Applicant：大阪府

Cited by examiner (7)

人工関節及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-128455 Applicant：日新電機株式会社
被覆部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-074129 Applicant：株式会社ジェイテクト, 株式会社豊田中央研究所
被覆部材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-206456 Applicant：株式会社豊田中央研究所

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