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J-GLOBAL ID:200903045681171770
金型装置及び圧縮成形装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002171861
Publication number (International publication number):2004017322
Application date: Jun. 12, 2002
Publication date: Jan. 22, 2004
Summary:
【課題】ワークのエリア内で封止樹脂をオーバーフローさせることで、パッケージ部を均一に樹脂封止すると共にスクラップ処理を不要とした金型装置を提供する。【解決手段】上型6のクランプ面に、ワーク1のパッケージ部形成エリアP外であって基板エリアQ内に、キャビティ凹部7に連通したオーバーフローキャビティを設けた。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
半導体チップが基板上にマトリクス状に配置されたワークの片面に圧縮成形用の樹脂材を供給してクランプする金型装置において、
モールド金型のクランプ面に、前記ワークのパッケージ部形成エリア外であって基板エリア内に、キャビティ凹部に連通したオーバーフローキャビティを設けたことを特徴とする金型装置。
IPC (4):
B29C43/36
, B29C43/18
, B29C43/34
, H01L21/56
FI (4):
B29C43/36
, B29C43/18
, B29C43/34
, H01L21/56 T
F-Term (28):
4F202AC05
, 4F202AC06
, 4F202AD18
, 4F202AH37
, 4F202AM33
, 4F202CA09
, 4F202CB01
, 4F202CB12
, 4F202CB17
, 4F202CK15
, 4F202CK90
, 4F204AC05
, 4F204AC06
, 4F204AD18
, 4F204AH37
, 4F204AM33
, 4F204FA01
, 4F204FB01
, 4F204FB11
, 4F204FF01
, 4F204FF05
, 4F204FQ15
, 5F061AA01
, 5F061BA03
, 5F061BA07
, 5F061CA21
, 5F061DA01
, 5F061DA06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
-
圧縮成形装置及び半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-211922
Applicant:富士通オートメーション株式会社
-
ウエハの樹脂封止装置及び樹脂封止方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-132667
Applicant:株式会社三井ハイテック
-
樹脂封止装置及び樹脂封止方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-327654
Applicant:アピックヤマダ株式会社
-
樹脂封止装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-125328
Applicant:アピックヤマダ株式会社
-
樹脂封止装置及び樹脂封止方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-082911
Applicant:アピックヤマダ株式会社
-
樹脂封止装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-057162
Applicant:アピックヤマダ株式会社, 新光電気工業株式会社
-
半導体ウエハ、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-223483
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
ウエハレベル半導体装置の製造方法及び半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-201416
Applicant:富士通株式会社
-
半導体樹脂封止用金型
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-194858
Applicant:日本電気株式会社
-
半導体装置の製造方法および半導体装置製造用金型
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-180258
Applicant:富士通株式会社, 富士通オートメーション株式会社
-
半導体製造装置およびそれを用いた半導体装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-181055
Applicant:九州日本電気株式会社
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