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J-GLOBAL ID：200903046824949099

面位置検出装置及び露光装置

Inventor：
横田 幸広

About 横田 幸広


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001204484
Publication number (International publication number)：2003022949
Application date： Jul. 05, 2001
Publication date： Jan. 24, 2003
Summary：
【要約】【課題】 面位置検出手段のセンサ部の発熱に起因するレーザ干渉計の温度ゆらぎによる計測精度の低下を防止する。【解決手段】 移動可能なウエハステージ1w上に保持されている検出対象物としてのウエハWの表面と垂直な方向の位置及び傾斜を測定する面位置検出手段7を備え、面位置検出手段7に含まれる熱源部としてのセンサ部28をウエハステージ1wが配置されている架台8内のステージ空調空間外部の架台8上面に配置し、位置検出手段7は、位置検出用のビームをウエハW上に入射する投光光学系と該ウエハW上での反射光を光電検出手段27である受光面に入射させる受光光学系とを有し、受光光学系中に含まれているセンサ部28と前記投光光学系及び受光光学系の本体部とは、光学瞳面近傍で分割されている。
Claim (excerpt)：
移動可能なステージ上に保持されている検出対象物の表面と垂直な方向の位置及び傾斜を測定する面位置検出手段を備えた面位置検出装置において、前記面位置検出手段に含まれる熱源部を、前記ステージが配置されているステージ空調空間の外部に配置したことを特徴とする面位置検出装置。
IPC (6)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00
FI (7)：
G01B 11/00 A ,  G01B 11/26 Z ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 502 Z ,  H01L 21/30 526 Z
F-Term (31)：
2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA35 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD11 ,  2F065FF10 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  5F046AA28 ,  5F046CC08 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DA26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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