Pat

J-GLOBAL ID：200903048801933279

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 渡邊 浩之 ,  山田 宏一 ,  渡辺 美穂 ,  重松 大志 ,  清水 正昭 ,  真鍋 力
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 中島 淳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001006284
Publication number (International publication number)：2002214112
Application date： Jan. 15, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 電気的に独立した複数のプローブを有し、100nm以下程度の微小な物質の操作を可能とし、かつ電気測定を可能とする走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 電気的に独立した複数のプローブ10a,10b等を有し、プローブ10a,10b等のうち、2本以上のプローブ10a,10b等がナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブ10a,10b等が像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡である。

Claim (excerpt)：

電気的に独立した複数のプローブを有し、該プローブのうち、2本以上のプローブがナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブが像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (7)：

G01N 13/12 ,  G01B 7/28 ,  G01B 7/34 102 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/20 ,  G12B 21/04

FI (7)：

G01N 13/12 D ,  G01B 7/28 E ,  G01B 7/34 102 Z ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 G ,  G12B 1/00 601 B

F-Term (32)：

2F063AA41 ,  2F063BA30 ,  2F063BB02 ,  2F063BC10 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063DD04 ,  2F063EA16 ,  2F063EB18 ,  2F063EB19 ,  2F063EB23 ,  2F063KA01 ,  2F069AA61 ,  2F069BB40 ,  2F069CC10 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG20 ,  2F069GG63 ,  2F069GG64 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ04 ,  2F069LL03 ,  2F069LL06 ,  2F069LL11 ,  2F069MM02 ,  2F069MM32 ,  2F069PP01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

• 原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-347859   Applicant：工業技術院長, 水谷亘, シャープ株式会社
• プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-283415   Applicant：日立建機株式会社
• カンチレバーおよび情報処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-025566   Applicant：株式会社ニコン
• ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-173106   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• 高性能ナノチューブプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-194858   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• 微小接触式プローバー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-303804   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 電気特性評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-360274   Applicant：科学技術振興事業団, 理化学研究所
• 走査型プローブ顕微鏡用のプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-093515   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

Cited by examiner (8)

• 原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-347859   Applicant：工業技術院長, 水谷亘, シャープ株式会社
• プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-283415   Applicant：日立建機株式会社
• カンチレバーおよび情報処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-025566   Applicant：株式会社ニコン
• ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-173106   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• 高性能ナノチューブプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-194858   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• 微小接触式プローバー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-303804   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 電気特性評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-360274   Applicant：科学技術振興事業団, 理化学研究所
• 走査型プローブ顕微鏡用のプローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-093515   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• Nanotube Nanotweezers
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作

Cited by examiner (2)

• Nanotube Nanotweezers
• Siマイクロマシニング技術による微小領域計測用ツインプローブの試作