走査型プローブ顕微鏡

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中島淳 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001006284
Publication number (International publication number)：2002214112
Application date： Jan. 15, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】電気的に独立した複数のプローブを有し、100nm以下程度の微小な物質の操作を可能とし、かつ電気測定を可能とする走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】電気的に独立した複数のプローブ10a,10b等を有し、プローブ10a,10b等のうち、2本以上のプローブ10a,10b等がナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブ10a,10b等が像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡である。

Claim (excerpt)：

電気的に独立した複数のプローブを有し、該プローブのうち、2本以上のプローブがナノチューブプローブであり、かつ、1本以上のプローブが像観察機能を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (7)：

G01N 13/12 , G01B 7/28 , G01B 7/34 102 , G01B 21/30 , G01N 13/16 , G12B 21/20 , G12B 21/04

FI (7)：

G01N 13/12 D , G01B 7/28 E , G01B 7/34 102 Z , G01B 21/30 , G01N 13/16 C , G12B 1/00 601 G , G12B 1/00 601 B

F-Term (32)：

2F063AA41 , 2F063BA30 , 2F063BB02 , 2F063BC10 , 2F063CA40 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063DD03 , 2F063DD04 , 2F063EA16 , 2F063EB18 , 2F063EB19 , 2F063EB23 , 2F063KA01 , 2F069AA61 , 2F069BB40 , 2F069CC10 , 2F069DD30 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG20 , 2F069GG63 , 2F069GG64 , 2F069HH05 , 2F069HH30 , 2F069JJ04 , 2F069LL03 , 2F069LL06 , 2F069LL11 , 2F069MM02 , 2F069MM32 , 2F069PP01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-347859 Applicant：工業技術院長, 水谷亘, シャープ株式会社
プローブ顕微鏡装置および探針間距離測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-283415 Applicant：日立建機株式会社
カンチレバーおよび情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-025566 Applicant：株式会社ニコン

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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