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J-GLOBAL ID：200903076631308955

電気特性評価装置

Inventor： 長谷川 剛 ,  青野 正和 ,  中山 知信 ,  奥田 太一 ,  寺部 一弥 ,  田中 啓文
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  理化学研究所
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999360274
Publication number (International publication number)：2001174491
Application date： Dec. 20, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】【課題】低接触抵抗で極微小領域に複数の金属探針を接触させることができる電気特性評価装置を提供する。【解決手段】抵抗部5、2つの抵抗検出用電極1,2、および、電気特性測定用の電極7が形成されたカンチレバー6の自由端に金属探針8を形成する。この際、金属探針8の先端がカンチレバー6の自由端よりも飛び出るようにすることで、10nmレベル領域への複数探針の接触を可能にする。また、原子間力顕微鏡法により探針位置を制御して、低接触抵抗を実現する。

Claim (excerpt)：

独立駆動の複数のカンチレバーを有し、探針・試料間の位置制御を原子間力顕微鏡法によって行う電気特性評価装置であって、前記カンチレバーの自由端部に金属探針を有し、該金属探針の先端が前記カンチレバーの自由端部よりも飛び出して設置されていることを特徴とする電気特性評価装置。

IPC (8)：

G01R 27/02 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/16 ,  G01N 27/00 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/28 ,  G12B 21/02 ,  H01L 21/66

FI (8)：

G01R 27/02 R ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/16 C ,  G01N 27/00 Z ,  G01R 1/06 E ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K ,  G12B 1/00 601 A

F-Term (42)：

2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069DD19 ,  2F069DD26 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG58 ,  2F069GG63 ,  2F069GG65 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ14 ,  2F069KK10 ,  2F069LL03 ,  2F069MM38 ,  2G011AA02 ,  2G011AB06 ,  2G011AC01 ,  2G011AC06 ,  2G011AC11 ,  2G011AC14 ,  2G028AA04 ,  2G028BB20 ,  2G028CG30 ,  2G028HM08 ,  2G028HM10 ,  2G032AA00 ,  2G032AB00 ,  2G032AF01 ,  2G032AL03 ,  2G060AA10 ,  2G060AE40 ,  2G060AF07 ,  2G060AG01 ,  2G060EB07 ,  4M106CA10 ,  4M106DB18 ,  4M106DD03 ,  4M106DD05 ,  4M106DD06 ,  4M106DD13 ,  4M106DJ04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (10)

• 不良検査方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-141353   Applicant：株式会社日立製作所
• 電子素子評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-174612   Applicant：株式会社日立製作所
• 原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-271278   Applicant：松下電器産業株式会社
• プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-130163   Applicant：株式会社ニコン
• プローブ装置及び微小領域に対する電気的接続方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-213187   Applicant：株式会社ニコン
• 走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-259644   Applicant：松下電器産業株式会社
• 表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-170012   Applicant：株式会社日立製作所
• 複合顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-156692   Applicant：日新電機株式会社
• カンチレバー型微小探針の製造方法およびカンチレバー型微小探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-284983   Applicant：株式会社島津製作所
• 特開平3-071001
  

Cited by examiner (10)

• 不良検査方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-141353   Applicant：株式会社日立製作所
• 電子素子評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-174612   Applicant：株式会社日立製作所
• 原子間力顕微鏡用探針付カンチレバーおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-271278   Applicant：松下電器産業株式会社
• プローブ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-130163   Applicant：株式会社ニコン
• プローブ装置及び微小領域に対する電気的接続方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-213187   Applicant：株式会社ニコン
• 走査型探針顕微鏡用探針、その製造方法、当該探針を用いた記録再生装置及び微細加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-259644   Applicant：松下電器産業株式会社
• 表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-170012   Applicant：株式会社日立製作所
• 複合顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-156692   Applicant：日新電機株式会社
• カンチレバー型微小探針の製造方法およびカンチレバー型微小探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-284983   Applicant：株式会社島津製作所
• 特開平3-071001
  

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• “ナノスケールの物性や機能をどう測るか -ナノ構造の「構築」から「計測」へ-”

Cited by examiner (1)

• “ナノスケールの物性や機能をどう測るか -ナノ構造の「構築」から「計測」へ-”