膜状ヒータとその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：北條和由
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003424850
Publication number (International publication number)：2005183272
Application date： Dec. 22, 2003
Publication date： Jul. 07, 2005
Summary：

【課題】耐熱性に優れる炭化ケイ素膜を使用した高温加熱型のヒータであって、温度分布の均一性が高く、シリコンウエハ等の加熱物との温度整合性に優れ、しかも製造が容易な膜状ヒータを得る。【解決手段】膜状ヒータは、低電気抵抗のパターニングされた炭化ケイ素膜からなり、通電により発熱する発熱体4と、高電気抵抗の膜状の炭化ケイ素膜からなり、前記発熱体4を支持すると共に、同発熱体4で発生した熱を面方向に伝熱する均熱膜5とを有するものである。このような膜状ヒータは、発熱体4のパターンに従い溝2を形成したカーボンからなる支持体1の表面上に低電気抵抗の炭化ケイ素膜3を成膜した後、支持体1の表面上を平面研削することにより、溝2内の発熱体4として残して他の炭化ケイ素膜3を除去し、その後支持体1の表面上に高電気抵抗の炭化ケイ素膜からなる均熱膜5を成膜した後、支持体1を焼却する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

低電気抵抗のパターニングされた炭化ケイ素膜からなり、通電により発熱する発熱体(4)と、高電気抵抗の膜状の炭化ケイ素膜からなり、前記発熱体(4)を支持すると共に、同発熱体(4)で発生した熱を面方向に伝熱する均熱膜(5)とを有することを特徴とする膜状ヒータ。

IPC (6)：

H05B3/20 , C23C16/42 , C23C16/46 , H05B3/12 , H05B3/14 , H05B3/74

FI (6)：

H05B3/20 393 , C23C16/42 , C23C16/46 , H05B3/12 B , H05B3/14 C , H05B3/74

F-Term (32)：

3K034AA04 , 3K034AA15 , 3K034AA16 , 3K034AA22 , 3K034BA06 , 3K034BA17 , 3K034BB06 , 3K034BC02 , 3K034BC16 , 3K034HA04 , 3K034HA10 , 3K034JA02 , 3K034JA10 , 3K092PP09 , 3K092QA05 , 3K092QB09 , 3K092QB32 , 3K092QB44 , 3K092QB45 , 3K092QB62 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF17 , 3K092RF27 , 3K092SS12 , 3K092SS16 , 3K092TT19 , 3K092TT31 , 3K092VV22 , 4K030BA37 , 4K030CA05 , 4K030FA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

加熱装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-217415 Applicant：住友大阪セメント株式会社
ヒーター用均熱材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-373797 Applicant：太平洋セメント株式会社
セラミックヒータ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-191516 Applicant：株式会社ブリヂストン

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Cited by examiner (3)

加熱装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-216609 Applicant：住友大阪セメント株式会社
半導体製造・検査装置用セラミックヒータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-124879 Applicant：イビデン株式会社
特開平4-032184

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