感光性材料、パターン形成方法、および電子部品の製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997236047
Publication number (International publication number)：1998142799
Application date： Sep. 01, 1997
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】環境安定性に優れ、短波長光に対して高い透明性を有するとともに、アルカリ現像により基板との密着性が高く、解像性の良好な微細パターンを形成し得る感光性材料を提供する。【解決手段】脂環式骨格および縮合多環式骨格の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂部分と、ジアゾ化合物部分とを含む感光性材料である。ジアゾ化合物部分は、アルカリ可溶性樹脂の側鎖に含まれていてもよく、樹脂部分とは別の成分として含有されていてもよい。

Claim (excerpt)：

脂環式骨格および縮合多環式骨格の少なくとも一方を有するアルカリ可溶性樹脂部分と、ジアゾ化合物部分とを含む感光性材料。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/095 501 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 501 , G03F 7/022 , G03F 7/095 501 , G03F 7/26 511 , G03F 7/40 521 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 573

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

ポジ型感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-098671 Applicant：富士写真フイルム株式会社
レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-097140 Applicant：日本ゼオン株式会社
特開平1-217453

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