走査型露光装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996020275
Publication number (International publication number)：1997213615
Application date： Feb. 06, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】キャリッジ15の走査速度が変動したとしても露光むらが生じることのない走査型露光装置を提供する。【解決手段】照明光学系の光源2とフライアイインテグレータ6の間に、マスク10に照射される光束の照度を調整する照度調整フィルタ21を設ける。速度検出手段16は、マスク10と感光基板12を一体的に保持して走査方向に移動するキャリッジ15の移動速度を検出する。フィルタ制御部22は、速度検出手段16の検出結果に基づいて、感光基板12の露光量が実質的に一定になるように照度調整フィルタの透過率を制御する

Claim (excerpt)：

光源を有しマスク上のパターンを所定形状の照明領域で照明する照明光学系と、前記マスクと感光基板を一体的に保持し前記照明領域に対して所定の走査方向に移動するキャリッジとを含み、前記マスク上のパターンを逐次前記感光基板上に露光する走査型露光装置において、前記マスクに照射される光束の照度を調整する照度調整手段と、前記キャリッジの移動速度を検出する速度検出手段と、前記速度検出手段の検出結果に基づいて前記感光基板の露光量が実質的に一定になるように前記照度調整手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 , G02F 1/13 101 , G03F 7/20 521

FI (6)：

H01L 21/30 518 , G02F 1/13 101 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 516 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

走査型露光装置及び該走査型露光装置を用いるデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-279575 Applicant：キヤノン株式会社
特開平2-065222
走査型露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-073097 Applicant：株式会社ニコン

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