圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：西和哉 , 志賀正武 , 青山正和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003308967
Publication number (International publication number)：2005039166
Application date： Sep. 01, 2003
Publication date： Feb. 10, 2005
Summary：

【課題】高性能でPbを含有せず、しかもSi基板上への直接的な実装を可能にして薄膜プロセスでの形成を可能にした圧電素子と、これを用いたインクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器を提供する。【解決手段】 BiFeO3からなる圧電体膜5を備えた圧電素子1。この圧電素子1は、内容積が変化するキャビティーを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電体膜5の変形によってキャビティーの内容積を変化させるものであってもよい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

BiFeO3からなる圧電体膜を備えたことを特徴とする圧電素子。

IPC (9)：

H01L41/09 , B41J2/045 , B41J2/055 , H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/22 , H01L41/24 , H02N2/00 , H03H9/25

FI (10)：

H01L41/08 C , H02N2/00 B , H03H9/25 C , B41J3/04 103A , H01L41/08 L , H01L41/18 101Z , H01L41/08 D , H01L41/08 J , H01L41/22 A , H01L41/22 Z

F-Term (5)：

2C057AG44 , 2C057AG47 , 2C057BA14 , 5J097FF01 , 5J097HA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-030472 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (7)

電圧制御発振器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-285945 Applicant：ティーディーケイ株式会社
積層薄膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-062864 Applicant：ティーディーケイ株式会社
圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-245353 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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