ダイヤモンドエミッタアレイ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (8)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004322775
Publication number (International publication number)：2006134723
Application date： Nov. 05, 2004
Publication date： May. 25, 2006
Summary：

【課題】極微細加工を要する微細構造を持たない簡単な構造であり、かつ簡便な製造工程により形成することの可能な、ダイヤモンドエミッタアレイおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電界を印加することによって材料表面より電子を放出する、複数の電界放射型の電子放出素子をアレイ状に配置したフィールドエミッタアレイであって、前記電子放出素子は、基体とこの基体上に形成されたダイヤモンド膜とを備え、前記ダイヤモンド膜の表面に電子供与基終端部と電子供与基不存在部又は電子吸引基終端部が相互に分離して形成されていることを特徴とするダイヤモンドエミッタアレイ。

IPC (2)：

H01J 1/304 , H01J 9/02

FI (2)：

H01J1/30 F , H01J9/02 B

F-Term (22)：

5C127AA01 , 5C127AA04 , 5C127AA05 , 5C127AA20 , 5C127BA09 , 5C127BB06 , 5C127BB20 , 5C127CC03 , 5C127DD09 , 5C127DD42 , 5C127DD67 , 5C127EE02 , 5C127EE15 , 5C135AA09 , 5C135AB06 , 5C135AC03 , 5C135AC05 , 5C135AC07 , 5C135GG03 , 5C135GG08 , 5C135GG20 , 5C135HH15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

薄膜電子源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-010952 Applicant：株式会社日立製作所
電子放出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-072733 Applicant：松下電器産業株式会社
電界放射冷陰極の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-270001 Applicant：日本電気株式会社

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