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J-GLOBAL ID:200903056927376106
ゾル材料
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000043361
Publication number (International publication number):2000290283
Application date: Feb. 21, 2000
Publication date: Oct. 17, 2000
Summary:
【要約】【課題】 室温で長期間安定して保存でき、かつ極めて短時間のゲル化および老化を経るだけでただちに各種間隙率の微孔性ゲルに転換することができ、しかも乾燥後も収縮やクラッキングを生じないような、微孔性誘電体膜を形成するためのゾル材料を提供することを課題とする。【解決手段】 2〜60重量部のシリコンアルコキシド、20〜98重量部のアルコール、0.5〜50重量部の水性媒体、0.0001〜10重量部の塩基、および0.001〜30重量部の1種類以上の添加剤と、さらに任意に添加される0.0001〜10重量部の酸を、加水分解および凝縮することにより得られるゾル材料である。
Claim (excerpt):
2〜60重量部のシリコンアルコキシド、20〜98重量部のアルコール、0.5〜50重量部の水性媒体、0001〜10重量部の塩基、および001〜30重量部の、R’nSi(OCH3)4-n、R’nSi(OC2H5)4-n、R’COOH、R(OH)m、およびR’nSiCl4-n(ここで、R’はH、フェニル基、炭素数が1〜20のアルキル基、アルケニル基、アミノ基、置換アミノ基、またはエステル基であり、Rはフェニル基、炭素数が1〜20のアルキル基、アルケニル基、アミノ基、置換アミノ基、またはエステル基であり、nは0〜3の整数で、mは1〜3の整数であるが、これらの化合物の構造は前記シリコンアルコキシド、前記アルコールおよび前記塩基とは異なる)よりなる群から選択される少なくとも1種類の添加剤を含有する出発原料を加水分解および凝縮することにより得られるゾル材料。
IPC (2):
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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シリカ系被覆材及び被覆体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-326518
Applicant:東亞合成化学工業株式会社
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液晶表示素子用絶縁膜形成用塗布液
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-029213
Applicant:日産化学工業株式会社
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特開昭64-000126
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半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-211699
Applicant:触媒化成工業株式会社, 富士通株式会社
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半導体装置およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-118584
Applicant:触媒化成工業株式会社
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被膜形成用塗布液およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-060057
Applicant:触媒化成工業株式会社
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特開平3-263476
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コーティング用組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-071453
Applicant:ジェイエスアール株式会社
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シリカ系多孔質膜およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-368016
Applicant:新日本製鐵株式会社
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半導体装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-216614
Applicant:日立化成工業株式会社
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