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J-GLOBAL ID：200903056927457823

半導体力学量センサ

Inventor：
石王 誠一郎

About 石王 誠一郎

, 
酒井 峰一

About 酒井 峰一


Applicant, Patent owner：
株式会社デンソー

About 株式会社デンソー


Agent (1)： 伊藤 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998036325
Publication number (International publication number)：1999230985
Application date： Feb. 18, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：
【要約】【課題】 共振状態のように梁が様々な方向に変位するような場合にも可動電極と固定電極とが付着しないようにする。【解決手段】 梁部4、5に隣接する位置に、固定部2Bとして、アンカー部100a、101aに支持され可動部2Aの水平方向の移動を規制するストッパー部100、101を形成する。そして、アンカー部3a、3b及びアンカー部100a、101aを介してストッパー部100、101と可動部2Aとを電気的に接続する。このように、可動部2Aと分離された固定部2Bにストッパー部100、101を備え、このストッパー部100、101によって可動部2Aの水平方向の移動を規制するようにすれば、共振時等においてもストッパー部101が変位しないため、共振時においても可動電極7a等と固定電極9a等とが付着しないようにできる。
Claim (excerpt)：
基板(1)上に可動部(2A)と固定部(2B)とを備えてなり、前記可動部は、可動電極(7a、7b、8a、8b)を有する質量部(6)が、前記基板上に形成された第1のアンカー部(3a、3b)により梁部(4、5)を介して支持され、力学量により変位するように構成されており、前記固定部は、前記可動電極と対向する形状を成し前記基板上に固定された固定電極(9a、9b、11a、11b、13a、13b、15a、15b)と、前記梁部に隣接して配置されると共に前記基板上に形成された第2のアンカー部(100a、101a)に支持され前記可動部の水平方向の変位を規制するストッパー部(100、101)とを有しており、前記ストッパー部と前記可動部とは前記第1、第2のアンカー部を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (2)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84
FI (2)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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