力学量センサおよびそれを用いた集積回路

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996256377
Publication number (International publication number)：1998104266
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】衝撃等に対する強度が大きく、かつゴミによる不都合を解決し、信頼性が高く、製造歩留まりが高くて製造コストが低い力学量センサを提供する。【解決手段】導電性物質からなる質量15と前記質量を基板上に支持する導電性物質からなる弾性支持体17とを有する振動系と、前記基板に固定され、前記質量内に設けた貫通孔100を貫通するように配置された前記質量の変位制限手段88と、力学量入力に応じて前記質量に発生する力を検出軸方向の前記質量の変位として検出する前記質量と静電結合した電極(88が兼用)と、を備えた力学量センサ。上記変位制限手段が衝撃印加時における質量の変位を制限するので、落下等の衝撃が印加されても質量と電極とのずれがなくなり、信頼性が向上する。

Claim (excerpt)：

導電性物質で形成された質量と前記質量を基板上に支持する導電性物質で形成された弾性支持体とを有する振動系と、前記基板に固定され、前記質量内に設けた貫通孔を貫通するように配置された、前記質量の変位を制限する変位制限手段と、力学量入力に応じて前記質量に発生する力を検出軸方向の前記質量の変位として検出する前記質量と静電結合した電極と、を備えたことを特徴とする力学量センサ。

IPC (4)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (4)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

3軸加速度計
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-301708 Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
振動ジャイロの駆動方法
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