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J-GLOBAL ID：200903061626239077

溶液の製造方法、重合体溶液およびレジスト組成物

Inventor：
井関 隆幸

About 井関 隆幸

, 
稲葉 秀之

About 稲葉 秀之


Applicant, Patent owner：
三菱レイヨン株式会社

About 三菱レイヨン株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006214848
Publication number (International publication number)：2008038035
Application date： Aug. 07, 2006
Publication date： Feb. 21, 2008
Summary：
【課題】溶液を濃縮する工程を経て目標の濃度の溶液を製造する方法において、目標の濃度の溶液を確実に得ることができる溶液の製造方法、目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体溶液、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させることができるレジスト組成物を提供する。【解決手段】溶液を濃縮する工程を経て目標とする濃度の溶液を製造する方法において、溶液を目標の濃度よりも高い濃度まで濃縮して過剰濃縮液とし、過剰濃縮液の濃度を測定し、過剰濃縮液を目標の濃度の溶液とするために必要な希釈溶媒の添加量を求め、該添加量の希釈溶媒を過剰濃縮液に加え、目標の濃度の溶液を得る。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
溶液を濃縮する工程を経て目標の濃度の溶液を製造する方法において、 溶液を目標の濃度よりも高い濃度まで濃縮して過剰濃縮液とし、 過剰濃縮液の濃度を測定し、過剰濃縮液を目標の濃度の溶液とするために必要な希釈溶媒の添加量を求め、 該添加量の希釈溶媒を過剰濃縮液に加え、目標の濃度の溶液を得ることを特徴とする溶液の製造方法。
IPC (2)：
C08J 3/11 ,  G03F 7/26
FI (2)：
C08J3/11 ,  G03F7/26
F-Term (23)：
2H096BA11 ,  2H096LA30 ,  4F070AA07 ,  4F070AA08 ,  4F070AA12 ,  4F070AA18 ,  4F070AA22 ,  4F070AA23 ,  4F070AA25 ,  4F070AA32 ,  4F070AA46 ,  4F070AA47 ,  4F070AB17 ,  4F070AB22 ,  4F070AC32 ,  4F070AC36 ,  4F070AC38 ,  4F070AC39 ,  4F070AC43 ,  4F070AC64 ,  4F070AE28 ,  4F070CA20 ,  4F070CB11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (5)
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