ステージ部材

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002343132
Publication number (International publication number)：2004179353
Application date： Nov. 27, 2002
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】熱膨張係数が低く、接合部に内部応力が残留せず、通常のセラミックスと同程度の剛性を有し、接合強度が高い低熱膨張セラミックスからなる軽量なステージ部材を提供する。【解決手段】β-ユークリプタイト50〜95質量%と炭化珪素5〜50質量%からなる低熱膨張セラミックス底板材1と箱蓋構造を有する同材質の上板材2とを、該板材よりも溶融温度の低い低熱膨張セラミックスからなる接合材で接合してステージ部材を構成する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

少なくとも一方が箱蓋構造を有する低熱膨張セラミックス底板材と同材質の上板材とを、該板材よりも溶融温度の低い低熱膨張セラミックスからなる接合材で接合してなることを特徴とするステージ部材。

IPC (2)：

H01L21/68 , H01L21/027

FI (2)：

H01L21/68 K , H01L21/30 503Z

F-Term (6)：

5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA38 , 5F031HA53 , 5F046CC01 , 5F046CC02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-308608 Applicant：キヤノン株式会社
接合体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-361761 Applicant：京セラ株式会社
低熱膨張セラミックスおよびその製造方法、並びに半導体製造用部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-234635 Applicant：京セラ株式会社

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