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J-GLOBAL ID：200903068146237400

原版搬送装置

Inventor：
山田 幸平

About 山田 幸平


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (4)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003017262
Publication number (International publication number)：2004228474
Application date： Jan. 27, 2003
Publication date： Aug. 12, 2004
Summary：
【課題】原版の交換によるスループットの低下を抑えることを目的とする。【解決手段】露光装置は、マスクステージ9と、ステージ9に渡たすべきマスク1をプリアライメントするプリアライメント装置7と、ステージ9とプリアライメント装置7との間で原版を搬送し又は2枚の原版を交換するマスク操作機構10とを有する。原版搬送装置30は、2枚のマスク1を保持可能な保持部8a,8bでマスク1を保持して搬送するマスク搬送機構8と、搬送機構8を制御するコントローラ11とを備える。コントローラ11は、露光に使用すべき順番が1番目のマスク1がステージ9に搭載される場合において、順番が2番目のマスク1がプリアライメント装置7に提供され、順番が3番目のマスク1が保持部8a又は8bに保持されるように、搬送機構8を制御する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
原版ステージと、前記原版ステージに渡たすべき原版をプリアライメントするプリアライメント装置と、前記原版ステージと前記プリアライメント装置との間で原版を搬送し又は2枚の原版を交換する操作機構とを有し原版のパターンで基板を露光する露光装置に対して、原版を搬送する原版搬送装置であって、 少なくとも2枚の原版を保持可能な保持部で原版を保持して搬送する搬送機構と、 前記搬送機構を制御する制御部と、 を備え、前記制御部は、露光に使用すべき順番が1番目の原版が前記原版ステージに搭載される場合において、順番が2番目の原版が前記プリアライメント装置に提供され、順番が3番目の原版が前記保持部に保持されるように、前記搬送機構を制御することを特徴とする原版搬送装置。
IPC (3)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (4)：
H01L21/30 502J ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 A ,  H01L21/30 516Z
F-Term (38)：
5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA03 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA54 ,  5F031HA53 ,  5F031JA31 ,  5F031JA36 ,  5F031JA38 ,  5F031JA49 ,  5F031MA13 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F031NA10 ,  5F031PA02 ,  5F031PA23 ,  5F046AA11 ,  5F046AA18 ,  5F046BA03 ,  5F046CB17 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA06 ,  5F046DD04 ,  5F046DD06 ,  5F046FC08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
  • 露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-098018   Applicant：株式会社ニコン
  • 特開昭62-195143
  • 基板管理方法及び半導体露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-247770   Applicant：キヤノン株式会社
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