セラミックス、ならびに誘電体キャパシタ、アクチュエータ、光変調器、及び超音波センサ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 永田美佐
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008322706
Publication number (International publication number)：2009107925
Application date： Dec. 18, 2008
Publication date： May. 21, 2009
Summary：

【課題】本発明の目的は、セラミックスの結晶化温度を低減させることができ、セラミックスの表面モフォロジを改善することができる、セラミックスの製造方法を提供することにある。【解決手段】セラミックスの製造方法は、酸素八面体構造を有する複合酸化物材料と、該複合酸化物材料に対して触媒作用を有する常誘電体材料とが混在した膜を形成し、その後該膜を熱処理することを含み、前記常誘電体材料は、構成元素中にSiを含む層状触媒物質、または構成元素中にSi及びGeを含む層状触媒物質からなる。前記熱処理は焼成及びポストアニールを含み、少なくとも該ポストアニールは、加圧された、酸素及びオゾンの少なくとも一方を含む雰囲気中で行われることが望ましい。セラミックスは、酸素八面体構造を有する複合酸化物であって、該酸素八面体構造中にSi及びGeを含む。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

酸素八面体構造を有する複合酸化物であって、該酸素八面体構造中にSi及びGeを含む、セラミックス。

IPC (3)：

C04B 35/00 , C01B 33/20 , H01G 4/33

FI (3)：

C04B35/00 J , C01B33/20 , H01G4/06 102

F-Term (56)：

4G030AA01 , 4G030AA02 , 4G030AA03 , 4G030AA04 , 4G030AA07 , 4G030AA08 , 4G030AA09 , 4G030AA10 , 4G030AA11 , 4G030AA12 , 4G030AA13 , 4G030AA14 , 4G030AA16 , 4G030AA17 , 4G030AA18 , 4G030AA19 , 4G030AA20 , 4G030AA21 , 4G030AA22 , 4G030AA23 , 4G030AA24 , 4G030AA27 , 4G030AA30 , 4G030AA31 , 4G030AA32 , 4G030AA34 , 4G030AA35 , 4G030AA36 , 4G030AA37 , 4G030AA38 , 4G030AA39 , 4G030AA40 , 4G030AA43 , 4G030BA01 , 4G030CA08 , 4G030GA09 , 4G030GA10 , 4G030GA25 , 4G030GA27 , 4G030GA34 , 4G073BA17 , 4G073BA20 , 4G073BA64 , 4G073BA65 , 4G073BA73 , 4G073BD18 , 4G073CD01 , 4G073UB11 , 5E082BC40 , 5E082EE05 , 5E082FF05 , 5E082FG03 , 5E082FG26 , 5E082MM24 , 5E082PP03 , 5E082PP07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

複合酸化物薄膜及びその製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-353219 Applicant：株式会社リコー
圧電材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-347071 Applicant：住友金属工業株式会社
誘電体磁器組成物とこの誘電体磁器組成物を用いたセラミック電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-211281 Applicant：太陽誘電株式会社

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