プラズマ処理容器内部材およびその製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：小川順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999351546
Publication number (International publication number)：2001164354
Application date： Dec. 10, 1999
Publication date： Jun. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】耐プラズマエロージョン性に優れるプラズマ処理容器内部材と、その有利な製造方法とを提案する。【解決手段】基材の表面が、アンダーコートとして形成された金属皮膜と、そのアンダーコート上に中間層として形成された Al2O3皮膜と、そしてその中間層上にトップコートとして形成されたY2O3溶射皮膜とからなる多層状複合層によって被覆されている。

Claim (excerpt)：

基材の表面がY2O3溶射皮膜によって被覆されていることを特徴とする、プラズマ処理容器内部材。

IPC (5)：

C23C 4/10 , C23C 14/00 , C23C 16/06 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (5)：

C23C 4/10 , C23C 14/00 C , C23C 16/06 , H01L 21/31 C , H01L 21/302 B

F-Term (42)：

4K029AA02 , 4K029BA26 , 4K029BC01 , 4K029DA01 , 4K029GA03 , 4K030BA02 , 4K030BA14 , 4K030CA02 , 4K030KA47 , 4K030LA01 , 4K031AA01 , 4K031AA08 , 4K031AB02 , 4K031AB03 , 4K031AB04 , 4K031BA01 , 4K031BA05 , 4K031CB07 , 4K031CB11 , 4K031CB12 , 4K031CB14 , 4K031CB21 , 4K031CB23 , 4K031CB24 , 4K031CB26 , 4K031CB39 , 4K031CB42 , 4K031CB43 , 4K031DA04 , 5F004AA13 , 5F004AA15 , 5F004BC08 , 5F004BD04 , 5F004BD05 , 5F004DA11 , 5F004DA17 , 5F045AA08 , 5F045AA18 , 5F045AA19 , 5F045AC05 , 5F045BB15 , 5F045EB03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

真空処理装置用素材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-197205 Applicant：東京エレクトロン株式会社
耐食性部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-201566 Applicant：京セラ株式会社
高融点活性金属鋳造用鋳型の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-298365 Applicant：川崎製鉄株式会社

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