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J-GLOBAL ID：200903075941025930

酸化物焼結体、その製造方法、それを用いた透明導電膜の製造方法、及び得られる透明導電膜

Inventor：
阿部 能之

About 阿部 能之

, 
中山 徳行

About 中山 徳行

, 
小原 剛

About 小原 剛

, 
和気 理一郎

About 和気 理一郎


Applicant, Patent owner：
住友金属鉱山株式会社

About 住友金属鉱山株式会社


Agent (1)： 河備 健二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007026580
Publication number (International publication number)：2007277075
Application date： Feb. 06, 2007
Publication date： Oct. 25, 2007
Summary：
【課題】高い直流電力を投入してもアーキングやクラックの発生がなくスパッタリングできるターゲットとして有用な、実質的に亜鉛、スズ、および酸素からなる酸化物焼結体、及び酸化物透明導電膜を高速で成膜しうる製造方法、及び耐薬品性に優れる酸化物透明導電膜を提供する。【解決手段】実質的に亜鉛、スズおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、スズがSn/(Zn+Sn)の原子数比として0.23〜0.50含有され、かつ主として酸化亜鉛相とスズ酸亜鉛化合物相とから構成される酸化物焼結体;スズ酸亜鉛化合物粉、あるいは酸化スズ粉と酸化亜鉛粉との混合粉を含む原料粉末に、水系溶媒を配合し、得られたスラリーを15時間以上混合した後、固液分離・乾燥・造粒し、引き続き、この造粒物を型枠に入れて成形した後、得られた成形物を焼成雰囲気中、1300〜1500°Cで15時間以上焼結する酸化物焼結体の製造方法により提供。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
実質的に亜鉛、スズおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、スズがSn/(Zn+Sn)の原子数比として0.23〜0.50含有され、かつ、主として酸化亜鉛相とスズ酸亜鉛化合物相とから構成されるか、スズ酸亜鉛化合物相で構成されることを特徴とする酸化物焼結体。
IPC (6)：
C04B 35/453 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  C04B 35/457
FI (7)：
C04B35/00 P ,  H01B5/14 A ,  H01B13/00 503B ,  C23C14/08 C ,  C23C14/34 A ,  C23C14/34 R ,  C04B35/00 R
F-Term (36)：
4G030AA16 ,  4G030AA20 ,  4G030AA21 ,  4G030AA23 ,  4G030AA24 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030AA39 ,  4G030AA42 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030GA04 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029BA47 ,  4K029BA49 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA06 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029EA09 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC03 ,  5G323BA02 ,  5G323BB05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 透明導電膜の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-079645   Applicant：グンゼ株式会社
  • 特開平2-145458号公報
Cited by examiner (8)
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