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J-GLOBAL ID：200903078405395759

化合物半導体ウェーハの評価方法及び評価装置

Inventor：
杉山 啓之

About 杉山 啓之


Applicant, Patent owner：
信越半導体株式会社

About 信越半導体株式会社


Agent (1)： 菅原 正倫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001200120
Publication number (International publication number)：2003014437
Application date： Jun. 29, 2001
Publication date： Jan. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】 化合物半導体ウェーハの主面上の色彩の異なる領域を定量評価する場合に、工程の削減及び精度の向上を実現する化合物半導体ウェーハの評価方法、及びそれに使用する評価装置を提供する。【解決手段】 化合物半導体ウェーハWの主面W1を、色彩の異なる領域が識別可能な形で、CCDカメラ13により撮影し、画像ピクセルの集合からなる画像データを取得する。該画像データを色抽出手段21に送信して、主面W1上において特定の色彩を有する不良領域と良品領域とを、画像ピクセルが示す色彩に基づき識別する。識別された不良領域あるいは良品領域の面積を、画像処理装置22により、その領域の色彩を示す画像ピクセルの数に基づいて定量化する。
Claim (excerpt)：
化合物半導体ウェーハの主面を、色彩の異なる領域が識別可能に撮影し、画像ピクセルの集合からなる画像データを取得するとともに、前記主面上において特定の色彩を有する特定領域の面積を、前記画像データ上にて前記特定領域に対応する色彩を示す画像ピクセルの数に基づき定量化することを特徴とする化合物半導体ウェーハの評価方法。
IPC (7)：
G01B 11/28 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 1/00 510 ,  G06T 7/00 100 ,  H01L 21/66 ,  G01N 21/956
FI (8)：
G01B 11/28 Z ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 1/00 510 ,  G06T 7/00 100 C ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/956 A ,  G01B 11/24 F ,  G01B 11/24 K
F-Term (65)：
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065AA58 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065GG17 ,  2F065GG22 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA17 ,  2G051ED09 ,  2G051ED21 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CB19 ,  4M106DB04 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ23 ,  5B057AA03 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB01 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE16 ,  5B057CH01 ,  5B057DA03 ,  5B057DA16 ,  5B057DB06 ,  5B057DC04 ,  5B057DC16 ,  5B057DC25 ,  5L096AA02 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096DA01 ,  5L096FA06 ,  5L096FA15 ,  5L096FA54 ,  5L096FA59
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (11)
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