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J-GLOBAL ID：200903078828726611

成膜方法、成膜装置及び記憶媒体

Inventor：
周 保華

About 周 保華

, 
長谷部 一秀

About 長谷部 一秀


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 浅井 章弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006004191
Publication number (International publication number)：2006287194
Application date： Jan. 11, 2006
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：
【課題】比較的低温で成膜してもクリーニング時のエッチングレートを比較的小さくでき、もってクリーニング時の膜厚の制御性を向上させることができ、且つエッチングストッパ膜や層間絶縁膜等の絶縁膜として十分機能する絶縁膜を形成することができる成膜方法を提供する。【解決手段】複数枚の被処理体Wが収容されて真空引き可能になされた処理容器4内に、シラン系ガスと窒化ガスとボロン含有ガスと炭化水素ガスとを供給して被処理体の表面にSiBCN薄膜を形成する成膜方法において、シラン系ガスとボロン含有ガスと炭化水素ガスの3種類のガスの同時供給と窒化ガスの供給とを間欠的に且つ交互に行うようにする。これにより、比較的低温で成膜してもクリーニング時のエッチングレートを比較的小さくでき、クリーニング時の膜厚の制御性を向上させる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
複数枚の被処理体が収容されて真空引き可能になされた処理容器内に、シラン系ガスと窒化ガスとボロン含有ガスと炭化水素ガスとを供給して前記被処理体の表面にSiBCN薄膜を形成する成膜方法において、 前記シラン系ガスとボロン含有ガスと炭化水素ガスの3種類のガスの同時供給と前記窒化ガスの供給とを間欠的に且つ交互に行うようにしたことを特徴とする成膜方法。
IPC (3)：
H01L 21/318 ,  C23C 16/52 ,  C23C 16/42
FI (3)：
H01L21/318 B ,  C23C16/52 ,  C23C16/42
F-Term (35)：
4K030AA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA13 ,  4K030BA29 ,  4K030BA35 ,  4K030BA41 ,  4K030BA49 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA03 ,  4K030EA06 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030GA06 ,  4K030HA01 ,  4K030HA15 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030LA02 ,  4K030LA15 ,  5F058BA06 ,  5F058BC08 ,  5F058BC09 ,  5F058BC11 ,  5F058BF07 ,  5F058BF23 ,  5F058BF26 ,  5F058BF30 ,  5F058BF36 ,  5F058BG01 ,  5F058BG02 ,  5F058BG03 ,  5F058BG04 ,  5F058BJ02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (7)
  • 多層薄膜の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-094688   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-234841   Applicant：株式会社日立国際電気
  • 半導体装置の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-014003   Applicant：株式会社日立国際電気
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