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J-GLOBAL ID：200903080808082780

研磨シート

Inventor： 村田 茂一 ,  片山 浩二
Applicant, Patent owner： 東レコーテックス株式会社
Agent (2)： 蔦田 璋子 ,  蔦田 正人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003276343
Publication number (International publication number)：2005034971
Application date： Jul. 17, 2003
Publication date： Feb. 10, 2005
Summary：

【課題】 被研磨物の平坦性が高く、精密な表面形状が得られる研磨シートを提供する。【解決手段】 連続気孔を有する多孔層が、基材の少なくとも一部に付設、埋設、又は積層されてなる研磨シートであって、多孔層がゲル化点が6以上の極性溶媒可溶性高分子材料からなり、気孔の平均孔径が30μm以下であるものとする。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

連続気孔を有する多孔層が、基材の少なくとも一部に付設、埋設、又は積層されてなる研磨シートであって、 前記多孔層がゲル化点が6以上の極性溶媒可溶性高分子材料からなり、気孔の平均孔径が30μm以下であることを特徴とする研磨シート。

IPC (2)：

B24B37/00 ,  H01L21/304

FI (2)：

B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F

F-Term (17)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  4F074AA78 ,  4F074AB00 ,  4F074AC32 ,  4F074AD13 ,  4F074CB03 ,  4F074CB17 ,  4F074CC10X ,  4F074DA02 ,  4F074DA03 ,  4F074DA08 ,  4F074DA09 ,  4F074DA56

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• スエード様研磨布
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-158616   Applicant：鐘紡株式会社

Cited by examiner (7)

• 熱可塑性ポリウレタン発泡体およびその製造方法並びに該発泡体からなる研磨パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-372336   Applicant：株式会社クラレ
• 研磨パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-265997   Applicant：帝人株式会社
• 研磨用パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-213737   Applicant：ロデール・ニッタ株式会社
• 研磨パッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-371846   Applicant：旭化成株式会社
• 基板の研磨装置及び研磨パッドの固定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-239285   Applicant：松下電子工業株式会社
• 研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-298016   Applicant：旭硝子株式会社
• 特開昭58-052329