走査像観察装置用画像調整標準試料台

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002052564
Publication number (International publication number)：2003257349
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Sep. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】低倍(数100倍)〜超高倍率(200k倍程度)まで広範にわたってひとつの標準試料でSEM調整を行うために、一つの標準試料で画像調整が可能かつサンプルの大きさ(高さ)に応じて標準試料の高さ調整が可能な点が課題である。さらに、球形の微粒子を程よく分散させる方法の確立が大きな課題である。【解決手段】上記課題を達成するために本発明では、支持台としてガラスを採用し、表面平滑な無構造の支持台を提供する。また、その支持台を親水化処理することで表面に球形のラテックス微粒子を塗布し、水分除去,凍結乾燥処理さらに金属アモルファス膜(オスミウム)で表面を被覆することで分散物を安定に分散固定しかつ導電性を有することができる。さらに、複数の標準試料を一つの試料台に搭載し、目的に応じて選択することを可能とし、サンプルの大きさ(高さ)に応じて標準試料の高さが調整可能な標準試料を提供する。

Claim (excerpt)：

平滑な表面を有する支持台に、親水化処理を行い、超音波による分散処理を行った複数のラテックス微粒子を備えることを特徴とする走査像観察装置用画像調整標準試料台。

IPC (3)：

H01J 37/20 , G01N 1/00 102 , G01N 1/28

FI (3)：

H01J 37/20 A , G01N 1/00 102 B , G01N 1/28 F

F-Term (10)：

2G052AD29 , 2G052AD52 , 2G052FA05 , 2G052FD06 , 2G052FD18 , 2G052GA35 , 2G052JA03 , 5C001AA01 , 5C001AA08 , 5C001CC04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

分解能評価試料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-238587 Applicant：沖電気工業株式会社
試料台及びその試料台を備えた走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-144573 Applicant：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特公平5-029054

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