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J-GLOBAL ID：200903087964547932

ポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor：
三枝 浩

About 三枝 浩


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006151869
Publication number (International publication number)：2007322660
Application date： May. 31, 2006
Publication date： Dec. 13, 2007
Summary：
【課題】ラインエッジラフネス、パターン倒れが改良されたポジ型感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、を含有する。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、及び、(B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有するポジ型感光性組成物。
IPC (2)：
G03F 7/039 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
F-Term (15)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
  • 特許第2973998号公報
  • 感放射線性樹脂組成物
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-137757   Applicant：ジェイエスアール株式会社
Cited by examiner (7)
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