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J-GLOBAL ID：200903088133114718

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
諏訪 充史

About 諏訪 充史

, 
富川 真佐夫

About 富川 真佐夫


Applicant, Patent owner：
東レ株式会社

About 東レ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002172430
Publication number (International publication number)：2003075997
Application date： Jun. 13, 2002
Publication date： Mar. 12, 2003
Summary：
【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物と、(d)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
(a)アルカリ可溶性ポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物と、(d)アルミニウム化合物、ケイ素化合物、スズ化合物、チタン化合物、ジルコニウム化合物から少なくとも1種選ばれる粒子径1nmから30nmの無機粒子を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/004 501 ,  C08G 69/26 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/037 501
FI (5)：
G03F 7/004 501 ,  C08G 69/26 ,  G02B 1/04 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/037 501
F-Term (52)：
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB55 ,  2H025CB56 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J001DA01 ,  4J001DC05 ,  4J001DC08 ,  4J001DD01 ,  4J001DD04 ,  4J001DD05 ,  4J001DD07 ,  4J001DD08 ,  4J001EB07 ,  4J001EB08 ,  4J001EB14 ,  4J001EB34 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB46 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB60 ,  4J001EB69 ,  4J001EC14 ,  4J001EC24 ,  4J001EC27 ,  4J001EC33 ,  4J001EC36 ,  4J001EC44 ,  4J001EC66 ,  4J001EC70 ,  4J001EC74 ,  4J001EC75 ,  4J001FA01 ,  4J001FB03 ,  4J001FB06 ,  4J001FC03 ,  4J001JA01 ,  4J001JA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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