ポジ型レジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：久保山隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994065092
Publication number (International publication number)：1995140665
Application date： Apr. 01, 1994
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】特にカラーフィルターに応用した場合に、レジストが本来有している性能が阻害されず、且つ、カラーフィルターを製造する際に工程管理等が容易なポジ型レジスト組成物を提供する。【構成】それぞれ、水素原子が1個置換されたスルホンアミド、カルボン酸アミド及びウレイドからなる群より選ばれる少なくとも1つの基を有する化合物、溶解阻止剤並びに有機溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。【効果】マトリックス樹脂を含有しないので、カラーフィルターに応用した場合に色濃度及び色再現性等の諸性能に優れ、且つ薄膜のカラーフィルターが得られる。

Claim (excerpt)：

それぞれ、水素原子が1個置換されたスルホンアミド、カルボン酸アミド及びウレイドからなる群より選ばれる少なくとも1つの基を有する化合物、溶解阻止剤並びに有機溶剤を含むことを特徴とするポジ型レジスト組成物。

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 505 , G03F 7/028 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (28)

感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-253523 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-007179 Applicant：富士写真フイルム株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-009928 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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