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J-GLOBAL ID：200903089748832722

吸着プレート装置

Inventor：
灘 本 信 成

About 灘 本 信 成

, 
清 水 敏

About 清 水 敏

, 
甘 田 晶

About 甘 田 晶


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (5)： 吉武 賢次 ,  永井 浩之 ,  岡田 淳平 ,  勝沼 宏仁 ,  鈴木 清弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003095250
Publication number (International publication number)：2004303961
Application date： Mar. 31, 2003
Publication date： Oct. 28, 2004
Summary：
【課題】基板の帯電を最小限に抑えて移載時に基板が容易に剥がれるようにし、かつ帯電に起因した基板の外観不良等の発生を効果的に防止することができる、吸着プレート装置を提供する。【解決手段】吸着プレート装置としての冷却プレート装置のプレート本体11の内部には冷却機構が設けられており、プレート本体11の載置面12上に載置される基板20を冷却するようになっている。プレート本体11の載置面12上には、複数の支持突起13及び複数の補助突起14が形成されており、これらの各支持突起13及び各補助突起14の頂部端面13a,14aにより基板20を支持するようになっている。各支持突起13には基板20を真空吸着するための真空吸引孔13bが形成されている。各支持突起13のうち基板20に接触する頂部端面13aは、真空吸引孔13bにより基板20を真空吸引した際に基板20と密着するような平滑性を有している。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
基板が載置される載置面を有するプレート本体と、 基板を支持するよう前記プレート本体の前記載置面上に形成された複数の支持突起とを備え、 前記各支持突起には前記基板を真空吸着するための真空吸引孔が形成され、前記各支持突起のうち前記基板に接触する頂部端面は、前記真空吸引孔により前記基板を真空吸引した際に前記基板と密着するような平滑性を有することを特徴とする吸着プレート装置。
IPC (2)：
H01L21/68 ,  B23Q3/08
FI (2)：
H01L21/68 P ,  B23Q3/08 A
F-Term (7)：
3C016CE05 ,  3C016DA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA38 ,  5F031PA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
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