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J-GLOBAL ID：200903095663238368

吸着固定装置及びその製造方法

Inventor：
遠藤 和則

About 遠藤 和則

, 
稲妻地 浩

About 稲妻地 浩


Applicant, Patent owner：
住友大阪セメント株式会社

About 住友大阪セメント株式会社


Agent (1)： 志賀 正武 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001278360
Publication number (International publication number)：2003086664
Application date： Sep. 13, 2001
Publication date： Mar. 20, 2003
Summary：
【要約】【課題】 パーティクルの発生等の不具合が生じることなしに、固定、矯正、搬送等を行うことができる吸着固定装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の吸着固定装置は、基体を構成する誘電体13の上面を板状試料1を吸着固定するための吸着固定面とし、この吸着固定面に突起または溝を形成して凹凸面とし、この凹凸面の凸部15の頂面24を板状試料1の保持面とし、さらに、この凹凸面の凸部15の頂面24及び側面25と、この凹凸面の凹部26の底面27とを共に研磨したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
基体の一主面が板状試料を吸着固定する吸着固定面とされ、該吸着固定面は突起または溝が形成されて凹凸面とされ、該凹凸面の凸部の頂面が前記板状試料の保持面とされた吸着固定装置において、前記凹凸面の凸部の頂面及び側面と、前記凹凸面の凹部の底面とは、共に研磨されていることを特徴とする吸着固定装置。
IPC (4)：
H01L 21/68 ,  H02N 13/00 ,  B23Q 3/08 ,  B23Q 3/15
FI (5)：
H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 P ,  H02N 13/00 D ,  B23Q 3/08 A ,  B23Q 3/15 D
F-Term (12)：
3C016DA01 ,  3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA32 ,  5F031HA33 ,  5F031HA40 ,  5F031PA23 ,  5F031PA26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (13)
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