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J-GLOBAL ID：200903091565014464

Aサイト層状秩序化型ペロブスカイトMn酸化物薄膜の製造方法

Inventor：
中島 智彦

About 中島 智彦

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土屋 哲男

About 土屋 哲男

, 
熊谷 俊弥

About 熊谷 俊弥


Applicant, Patent owner：
独立行政法人産業技術総合研究所

About 独立行政法人産業技術総合研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006349693
Publication number (International publication number)：2008156188
Application date： Dec. 26, 2006
Publication date： Jul. 10, 2008
Summary：
【課題】基板上に結晶化したAサイト秩序型ペロブスカイトMn酸化物の薄膜形成を可能にする製造方法を提供する。【解決手段】基板上に形成された組成式RBaMn2O6-d(RイオンとBaイオンはペロブスカイト型構造(AMnO3型))のAサイトを占め、層状に交互に規則配列した結晶構造を持つことを特徴とするAサイト層状秩序ペロブスカイト型マンガン酸化物(式中、RはY, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Tb, Hoの少なくとも1種類より選ばれる3価イオンであり、さらに、BaはCaやSrによって一部置換されていても良く、MnサイトにはCrやRu等の金属イオンが微量置換されていても良い。) から成る薄膜を形成させる方法において、上記物質の各構成元素を含む有機金属薄膜を、熱分解してアモルファス化させた後、不活性気体中で、500°C〜800°Cの温度に保持し、紫外レーザを照射して結晶化させることを特徴とするAサイト層状秩序型ペロブスカイトマンガン酸化物薄膜の製造方法。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
基板上に形成された組成式RBaMn2O6-d(RイオンとBaイオンはペロブスカイト型構造(AMnO3型)のAサイトを占め、層状に交互に規則配列した結晶構造を持つことを特徴とするAサイト層状秩序ペロブスカイト型マンガン酸化物(式中、RはY, La, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Dy, Tb, Hoの少なくとも1種類より選ばれる3価イオンであり、RとBaの比(R/Ba)は0.5〜2.0の範囲であり、R/Ba=1.0からずれた場合は多く入った方が、もう一方のサイトに固溶していても良く、さらに、BaはCaやSrによって一部置換されていても良く、MnサイトにはCrやRu等の金属イオンが微量置換されていても良い。dは0〜1の範囲をとる。) から成る薄膜を形成させる方法において、上記物質の各構成元素を含む有機金属薄膜を基板上に塗布し、熱分解させてアモルファス化させた後、不活性気体中で、500°C〜800°Cの温度に保持し、紫外レーザを照射しつつ、結晶化することを特徴とするAサイト層状秩序型ペロブスカイトマンガン酸化物薄膜の製造方法。
IPC (1)：
C01G 45/00
FI (1)：
C01G45/00
F-Term (6)：
4G048AA05 ,  4G048AB02 ,  4G048AC03 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4G048AE08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (12)
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Cited by examiner (6)
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