ボロメータ用酸化物薄膜の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：後藤洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001089149
Publication number (International publication number)：2002284529
Application date： Mar. 27, 2001
Publication date： Oct. 03, 2002
Summary：

【要約】【課題】高感度のボロメータ方式非冷却赤外線センサを提供すると共に、大きな温度係数(TCR)を有するボロメータ用酸化物薄膜及びそれを用いた赤外線センサの製造方法を提供する。【解決手段】金属有機化合物を絶縁性基板上に塗布、乾燥させた後に波長400nm以下のレーザー光を照射することにより、500°C以下の低温でペロブスカイト型Mn酸化物薄膜を結晶化して、電気抵抗の温度係数が大きいボロメータ用酸化物薄膜を製造する。また、上記ペロブスカイト型Mn酸化物薄膜を形成する際に、マスクパターンを用いてボロメータ用抵抗体を直接絶縁体基板上に形成することによって赤外線センサを製造する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に形成された酸化物薄膜が、Aを三価の希土類金属、Bをニ価のアルカリ土類金属として、A<SB>1-x</SB>B<SB>x</SB>MnO<SB>3</SB> (0<x<1)で表されるペロブスカイト型Mn酸化物からなり、この酸化物薄膜の電気抵抗を測定して照射された輻射エネルギー強度を測定するボロメータ用の酸化物薄膜の製造方法において、上記酸化物薄膜を作製する際に、金属有機化合物を溶媒に溶解させて溶液状とし、この金属有機化合物の溶液を、上記絶縁性基板上に塗布して乾燥させ、その後、波長400nm以下のレーザー光を照射して炭素-酸素結合を切断して分解し、生成した酸化物を結晶化させることを特徴とするボロメータ用酸化物薄膜の製造方法。

IPC (3)：

C01G 45/00 , H01L 31/0264 , H01L 37/00

FI (3)：

C01G 45/00 , H01L 37/00 , H01L 31/08 M

F-Term (13)：

4G048AA05 , 4G048AB01 , 4G048AB02 , 4G048AC08 , 4G048AD02 , 4G048AD08 , 4G048AE08 , 5F088AA11 , 5F088AB01 , 5F088BB06 , 5F088CB20 , 5F088GA03 , 5F088LA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

ペロブスカイト型マンガン酸化物薄膜、その製造方法及びそれを用いた赤外線検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-169336 Applicant：シャープ株式会社
複合酸化物膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-063295 Applicant：株式会社関西新技術研究所
磁気抵抗効果形センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-258877 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト

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