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J-GLOBAL ID：200903093137655911

エミッタの製造方法及び該エミッタを用いた電界放出型冷陰極並びに平面画像表示装置

Inventor： 岡本 明彦 ,  小沼 和夫 ,  富張 美徳 ,  伊藤 文則 ,  岡田 裕子
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 稲垣 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000352983
Publication number (International publication number)：2002157953
Application date： Nov. 20, 2000
Publication date： May. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 CNT膜を用いながら均一で安定な放出電流を発生させ、良好なエミッション特性を得ることができるエミッタの製造方法を提供する。【解決手段】 エミッタの製造方法では、ガラス基板10上に、複数のカーボンナノチューブ(CNT)12aを含みエミッタ電極12bを構成するCNT膜12を形成し、CNT膜12上に絶縁膜13を介してゲート電極16を形成し、ゲート電極16及び絶縁膜13に複数のゲート開口17を形成し、ゲート開口17内のCNT12aを直立配向させる。

Claim (excerpt)：

基板上に、複数のカーボンナノチューブ(CNT)を含むエミッタを構成するCNT膜を形成し、前記CNT膜表面のCNTを直立配向させることを特徴とするエミッタの製造方法。

IPC (3)：

H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12

FI (3)：

H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C

F-Term (8)：

5C031DD17 ,  5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF08 ,  5C036EG02 ,  5C036EG12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• カーボンナノチューブのパターン形成方法、カーボンナノチューブのパターン形成材料、電子放出源及び蛍光発光型表示器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-210336   Applicant：双葉電子工業株式会社
• カ-ボンインキ、電子放出素子、電子放出素子の製造方法、および画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-003789   Applicant：松下電子工業株式会社
• 電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-202462   Applicant：双葉電子工業株式会社
• 電界放出陰極、電子放出素子および電界放出陰極の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-255519   Applicant：株式会社東芝
• 電子電界エミッタの放出状態を改善するための方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-503904   Applicant：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
• カーボンナノチューブの製造方法、電界放出型冷陰極装置およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-255515   Applicant：株式会社東芝
• 電子放出素子およびそれを利用した電子源、電界放出型画像表示装置、蛍光灯、並びにそれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-312709   Applicant：松下電器産業株式会社