Pat
J-GLOBAL ID：200903094186837924

感光性エレメント、及びこれを用いたレジストパターンの製造法

Inventor：
村上 泰治

About 村上 泰治


Applicant, Patent owner：
日立化成工業株式会社

About 日立化成工業株式会社


Agent (1)： 津国 肇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001289570
Publication number (International publication number)：2003098663
Application date： Sep. 21, 2001
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：
【要約】【課題】 重合速度が良好で、かつ解像度及び細線密着性に優れ、特にUV(紫外光)レーザの走査露光に好適な感光性エレメントを提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、該感光性樹脂組成物層の波長365nmの光に対する吸光度が0.15〜0.8である感光性エレメント。
Claim (excerpt)：
ベースフィルム上に感光性樹脂組成物層を積層した感光性エレメントにおいて、(1)該感光性樹脂組成物層が、バインダーポリマーと、分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、光重合開始剤とを含有し、(2)該感光性樹脂組成物層の波長365nmの光に対する吸光度が0.15〜0.8である、感光性エレメント。
IPC (4)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18
FI (4)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  H05K 3/06 J ,  H05K 3/18 D
F-Term (22)：
2H025AA01 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC83 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA48 ,  2H025CB16 ,  2H025FA10 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339DD03 ,  5E343CC62 ,  5E343ER11 ,  5E343ER45 ,  5E343GG11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM