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J-GLOBAL ID:200903094724846530
均一でスケーラブルなマイクロ波プラズマ発生を行うためのプラズマノズルアレイ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (4):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
, 平田 晴洋
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007523689
Publication number (International publication number):2008508683
Application date: Jul. 21, 2005
Publication date: Mar. 21, 2008
Summary:
本発明は、マイクロ波プラズマノズルアレイシステム、およびマイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法を提供する。マイクロ波は特定の方法でマイクロ波キャビティ(323)へと搬送され、マイクロ波キャビティ(32)内に高エネルギー領域(69)を備える干渉パターン(66)を形成する。高エネルギー領域(69)は、マイクロ波の位相および波長によって制御される。複数のノズル素子(36)がアレイ(37)に設けられている。それぞれのノズル素子(36)は部分的にマイクロ波キャビティ(32)内に配置されている部分(116)を持っており、ガスを受け入れ、そこを通過させる。ノズル素子(36)は高エネルギー領域(69)の1つからマイクロ波エネルギーを受け取る。ノズル素子(36)はそれぞれが、マイクロ波が集中する先端部(117)を持つロッド状コンダクタ(114)を備えており、そして受け入れられたガスを使ってプラズマ(38)が発生される。
Claim (excerpt):
マイクロ波キャビティ内でマイクロ波同士を干渉させマイクロ波の定在波パターンが静止的に形成されるように、互いに反対方向からマイクロ波をマイクロ波キャビティへ向かわせるステップと、
少なくとも1つのマイクロ波の位相を調整して、マイクロ波の定在波パターンによって発生される高エネルギー領域を制御するステップと、
ノズル素子の1つ以上が高エネルギー領域の1つからマイクロ波エネルギーを受け取るように、ノズルアレイの少なくとも一部を前記マイクロ波キャビティ内に配置するステップと、
を具備することを特徴とするマイクロ波プラズマノズルアレイを構成するための方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (5):
4C058AA01
, 4C058BB06
, 4C058KK06
, 4C058KK11
, 4C058KK50
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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堆積膜の形成装置及び形成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-294122
Applicant:キヤノン株式会社
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特開平1-299777
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表面処理装置及び表面処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-349059
Applicant:松下電工株式会社
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整合回路および反射波検出回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-121504
Applicant:学校法人金沢工業大学
-
プラズマ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-065231
Applicant:株式会社日立製作所
-
マイクロ波プラズマ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-026067
Applicant:新日本無線株式会社
-
同軸形のマイクロ波プラズマ発生器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-354868
Applicant:杉山和夫, ミクロ電子株式会社
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マイクロ波駆動式プラズマ噴射装置および噴射する方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平9-500776
Applicant:フィジカルサイエンシス,インコーポレーテッド
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プラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-290271
Applicant:芝浦メカトロニクス株式会社
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特開平1-299777
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