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J-GLOBAL ID：200903096682522952

圧電体素子及びこれを用いたインクジェット式記録ヘッド

Inventor：
角 浩二

About 角 浩二


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 稲葉 良幸 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000219792
Publication number (International publication number)：2002043641
Application date： Jul. 19, 2000
Publication date： Feb. 08, 2002
Summary：
【要約】【課題】 大きな変位量を有し、残留変位を少なくすることにより圧電特性の周波数依存性を減じることのできる圧電体素子を提供する。【解決手段】 圧電体膜41と、この圧電体膜41を挟んで配置される下部電極32および上部電極42とを備えた圧電体素子である。この圧電体膜41は、Pb<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)O<SB>3</SB>で表され、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0.53≦y<1の範囲にあり、かつ、(111)面優先配向であるか、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0<y<0.53の範囲にあり、かつ、(100)面優先配向であるかのいずれかである。
Claim (excerpt)：
圧電体膜と、この圧電体膜を挟んで配置される下部電極および上部電極とを備えた圧電体素子であって、前記圧電体膜は、Pb<SB>x</SB>(Zr<SB>y</SB>Ti<SB>1-y</SB>)O<SB>3</SB>で表され、前記xは0.8<x<1の範囲にあり、前記yは0.53≦y<1の範囲にあり、かつ、(111)面優先配向であることを特徴とする圧電体素子。
IPC (7)：
H01L 41/09 ,  C04B 35/49 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (7)：
C04B 35/49 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/08 U ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
F-Term (23)：
2C057AF02 ,  2C057AG16 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG52 ,  2C057AG55 ,  2C057AN01 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AP52 ,  2C057AP54 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G031AA11 ,  4G031AA32 ,  4G031BA10 ,  4G031CA08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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