フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：小島清路 , 萩野義昇 , 谷口直也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009048539
Publication number (International publication number)：2010204306
Application date： Mar. 02, 2009
Publication date： Sep. 16, 2010
Summary：

【課題】フォトレジスト用樹脂に対する熱履歴を少なくすることができ、且つフォトレジスト用樹脂溶液を効率良く簡便に製造できるフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。【解決手段】本フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法は、(1)重合性化合物を重合させることにより、フォトレジスト用の樹脂を含有する樹脂溶液を調製する樹脂溶液調製工程と、(2)樹脂溶液に含まれる樹脂を再沈殿により回収する回収工程と、(3)回収した樹脂を濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る洗浄工程と、(4)湿粉をフォトレジスト用溶剤に溶解する溶解工程と、を備えており、前記溶解工程において、湿粉及びフォトレジスト用溶剤のうちの少なくとも一方を冷却し、その後、湿粉及びフォトレジスト用溶剤の混合物を昇温する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法であって、 (1)重合性化合物を重合させることにより、フォトレジスト用の樹脂を含有する樹脂溶液を調製する樹脂溶液調製工程と、 (2)前記樹脂溶液に含まれる前記樹脂を再沈殿により回収する回収工程と、 (3)回収した前記樹脂を濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る洗浄工程と、 (4)前記湿粉をフォトレジスト用溶剤に溶解する溶解工程と、を備えており、前記溶解工程においては、前記湿粉及び前記フォトレジスト用溶剤のうちの少なくとも一方を冷却し、その後、前記湿粉及び前記フォトレジスト用溶剤の混合物を昇温することを特徴とするフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法。

IPC (1)：

G03F 7/26

FI (1)：

G03F7/26

F-Term (5)：

2H096AA25 , 2H096BA11 , 2H096DA10 , 2H096EA05 , 2H096JA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

重合体湿粉の製造方法、重合体湿粉、重合体粉末およびレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-228902 Applicant：三菱レイヨン株式会社
溶液の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-177721 Applicant：富士写真フイルム株式会社
レジスト溶液の調製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-069945 Applicant：東京応化工業株式会社

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