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J-GLOBAL ID：201003074592381206

スキャン露光装置およびスキャン露光装置の基板搬送方法

Inventor：
近藤 俊之

About 近藤 俊之

, 
杉本 典幸

About 杉本 典幸

, 
佐治 伸仁

About 佐治 伸仁


Applicant, Patent owner：
日本精工株式会社

About 日本精工株式会社


Agent (3)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009036618
Publication number (International publication number)：2010072615
Application date： Feb. 19, 2009
Publication date： Apr. 02, 2010
Summary：
【課題】基板搬送機構の通り精度のみに依存することなく、θ方向のズレ量を補正して、露光精度を向上することができるスキャン露光装置およびスキャン露光装置の基板搬送方法を提供する。【解決手段】スキャン露光装置1では、基板搬送機構14の各基板駆動ユニット16,17は、基板Wを吸着保持する吸着パッド56,57と、吸着パッド56,57をX方向に搬送するためのX方向搬送機構50,51と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第1及び第2のボールねじ機構64,65を備えて、吸着パッド56,57をY方向に移動可能、且つ、θ方向に揺動可能なY方向搬送機構54,55と、を有する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
所定の方向に沿って往復自在に基板を搬送可能であるとともに、前記所定の方向と直交する方向に前記基板を移動可能な基板搬送機構と、 複数のマスクをそれぞれ保持する複数のマスク保持部と、 前記複数のマスク保持部の上方にそれぞれ配置され、露光用光を照射する複数の照射部と、 を備え、前記搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して前記露光用光を照射し、前記基板に前記各マスクのパターンを露光するスキャン露光装置であって、 前記基板搬送機構は、前記基板を保持する保持部材と、前記保持部材を前記所定の方向に搬送するための第1の送り機構と、互いに平行に配置され、且つ互いに独立して駆動可能な第1及び第2の駆動部を備えて、該保持部材を前記直交方向に移動可能、且つ、前記所定の方向及び前記直交方向に垂直な法線回りのθ方向に揺動可能な第2の送り機構と、 を有することを特徴とするスキャン露光装置。
IPC (2)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (2)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 503A
F-Term (7)：
2H097AB09 ,  2H097BA10 ,  2H097GA45 ,  2H097LA12 ,  5F046BA02 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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