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J-GLOBAL ID：201003096305991388

ビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置

Inventor：
安田 啓介

About 安田 啓介


Applicant, Patent owner：
財団法人若狭湾エネルギー研究センター

About 財団法人若狭湾エネルギー研究センター


Agent (1)： 戸川 公二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009047165
Publication number (International publication number)：2010203805
Application date： Feb. 27, 2009
Publication date： Sep. 16, 2010
Summary：
【課題】 大気雰囲気下における試料分析において試料の含有元素に左右されず精確な定量分析を行うことができ、かつ、対象試料が複数ある場合でも迅速な分析作業が可能で、しかも、構造も簡単で製造面でも有利なビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置を提供すること。【解決手段】 イオンビームBを出射可能なビーム出射装置1と前記イオンビームBを大気雰囲気側に取出し可能なビーム取出窓3とを、イオンビームBが薄膜31の枠近傍位置を通過するように配設すると共に、前記X線強度測定器7の検知部71を、前記薄膜31のビーム通過点近傍の枠部32外側に配置することによって、イオンビームBの照射により試料Sから放出されるX線を前記枠部32で遮断しつつ薄膜31からのX線だけを検出して、そのX線強度からビーム量を測定可能とした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
イオンビームBを出射可能なビーム出射装置1と;前記出射されたイオンビームBを真空雰囲気下で試料S直近まで導入するビーム導入部2と;ビーム透過性およびX線透過性を有する薄膜31とそれを取り囲むX線遮断性を有する枠部32とから成り、前記ビーム導入部2の終端部に配設されて前記薄膜31を通してイオンビームBを大気雰囲気下に取り出せるビーム取出窓3と;大気雰囲気側に設けられて、前記ビーム取出窓3から取り出したイオンビームBの照射位置に試料Sを固定するための試料固定部4と;前記ビーム導入部2の終端部に設けられたX線測定室22内に検知部51が配置され、イオンビームBが照射されたときに試料Sから放出されるX線を検出するX線検出器5と;同じく前記ビーム導入部2のX線測定室22内に検知部71が配置され、イオンビームBがビーム取出窓3を通過するときに薄膜31から放出されるX線を検出してその強度を測定できるX線強度測定器7とを含んで構成され、 前記ビーム出射装置1とビーム取出窓3とを、イオンビームBが薄膜31の枠近傍位置を通過するように配設すると共に、前記X線強度測定器7の検知部71を、前記ビーム通過点近傍の枠部32外側に配置することによって、イオンビームBの照射により試料Sから放出されるX線を前記枠部32で遮断しつつ薄膜31からのX線だけを検出して、そのX線強度からビーム量を測定可能としたことを特徴とするビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置。
IPC (1)：
G01N 23/225
FI (1)：
G01N23/225
F-Term (6)：
2G001AA05 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001CA02 ,  2G001GA01 ,  2G001KA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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