Pat
J-GLOBAL ID：200903004548084360

真空紫外光照射装置

Inventor：
住友 卓

About 住友 卓


Applicant, Patent owner：
ウシオ電機株式会社

About ウシオ電機株式会社


Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002102619
Publication number (International publication number)：2003294896
Application date： Apr. 04, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：
【要約】【課題】 窓板部材を形成する合成石英ガラスの変質状態を確実に検出することができる真空紫外光照射装置を提供すること。【解決手段】 本発明の真空紫外光照射装置は、放電ランプが収容されたランプハウスと、このランプハウスの光照射窓を構成する、合成石英ガラスよりなる窓板部材と、窓板部材から放射される、波長600〜700nmの被検出光を検出する光検出手段とを備えることを特徴とする。ここで、ランプハウスの壁部に、波長600〜700nmの光を透過する監視用窓が形成されており、光検出手段が、この監視用窓を介して到達する被検出光を受ける位置に配設されていることが好ましい。また、光検出手段は、遮蔽部材によって放電ランプから放射される光の入射が防止された位置に設けられていることが好ましい。
Claim (excerpt)：
キセノンガスによるエキシマ分子発光を利用した放電ランプが収容されたランプハウスと、このランプハウスの光照射窓を構成し、放電ランプからの紫外光を透過する、合成石英ガラスよりなる窓板部材と、窓板部材から放射される、波長600〜700nmの被検出光を検出する光検出手段とを備えることを特徴とする真空紫外光照射装置。
IPC (3)：
G21K 5/00 ,  H01J 65/00 ,  H01L 21/31
FI (4)：
G21K 5/00 Z ,  G21K 5/00 W ,  H01J 65/00 B ,  H01L 21/31 A
F-Term (4)：
5F045AA20 ,  5F045EK12 ,  5F045EK19 ,  5F045GB02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 誘電体バリア放電装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-291288   Applicant：ウシオ電機株式会社
  • 半導体製造装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-289338   Applicant：日本電気株式会社
  • 紫外線照射装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-371148   Applicant：ウシオ電機株式会社
Cited by examiner (13)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM