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J-GLOBAL ID：201202181924618177
Reference number：12A1365778 フォトレフレクタンス分光法によるSiO2/Si界面の歪みの解析
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AGATA MASASHI
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(大阪大 大学院基礎工学研究科)
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(大阪大 大学院基礎工学研究科)
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Material：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
About 応用物理学関係連合講演会講演予稿集
Volume： 47th Issue： 2 Page： 820 Publication year： Mar. 28, 2000
JST Material Number： Y0054A Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)
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フォト
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レフレクタンス
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