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J-GLOBAL ID：201202281618977010   Reference number：12A0590199

Crystallization of Si Thin Film on Flexible Plastic Substrate by Blue Multi-Laser Diode Annealing

フレキシブルなプラスチック基板上でのSi薄膜についての青色マルチレーザダイオードアニーリングによる結晶化

Author (9)： OKADA Tatsuya (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  MUGIRANEZA Jean de Dieu (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  SHIRAI Katsuya (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  SUZUKI Toshiharu (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  NOGUCHI Takashi (Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN) ,  MATSUSHIMA Hideki (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  HASHIMOTO Takao (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  OGINO Yoshiaki (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  SAHOTA Eiji (Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 51  Issue： 3,Issue 2  Page： 03CA02.1-03CA02.3  Publication year： Mar. 25, 2012 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *semiconductor thin film ,  *silicon ,  amorphous silicon ,  precursor (substance) ,  sputtered deposition ,  RF sputtering ,  *laser annealing ,  semiconductor laser ,  substrate (plate) ,  polyimide ,  *thin film growth ,  transmission electron microscope ,  Microscopy ,  atomic force microscope ,  Raman spectrum ,  refractive index ,  *laser irradiation ,  radiation damage

JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Laser irradiation effects and damages  (BK16040S)

Reference (21)：

• 1) D. Knipp, R. A. Street, A. Völkel, and J. Ho: J. Appl. Phys. 93 (2003) 347.
• 2) J. Jang and S. H. Han: Curr. Appl. Phys. 6 (2006) e17.
• 3) J. H. Lee, S. H. Kim, G. H. Kim, S. C. Lim, H Lee, J. Tang, and T. Zyung: Synth. Met. 139 (2003) 445.
• 4) S. Inoue, S. Utsunomiya, T. Saeki, and T. Shimoda: IEEE Trans. Electron Devices 49 (2002) 1353.
• 5) D. Y. Kim, J. Y. Kwon, J. S. Jung, K. B. Park, H. S. Cho, H. Lim, J. M. Kim, H. Yin, X. Zhang, and T. Noguchi: J. Korean Phys. Soc. 48 (2006) S61.

Terms in the title (4)： プラスチック基板 ,  Si薄膜 ,  青色 ,  結晶化