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J-GLOBAL ID:201203025526739330
複合型エタロンフィルタ
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010222310
Publication number (International publication number):2012078476
Application date: Sep. 30, 2010
Publication date: Apr. 19, 2012
Summary:
【課題】 レーザ装置の小型化に貢献する。【解決手段】 レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第一接合膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第二接合膜を備え、中空部材が、中空部分の開口周囲であってビームスプリッタと対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、ビームスプリッタの第一接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、第二の透明部材の第二接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、
第二の透明部材と、
前記ビームスプリッタと前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、
前記ビームスプリッタが、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、
前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、
前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記ビームスプリッタと対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、
前記ビームスプリッタの第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、
前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されることを特徴とする複合型エタロンフィルタ。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (10):
2H048GA13
, 2H048GA24
, 2H048GA48
, 2H048GA51
, 2H048GA61
, 2H149AA24
, 2H149AB02
, 2H149BA03
, 2H149FC07
, 2H149FC08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (15)
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特許第6587204号
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特許第6587204号
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原子拡散接合方法及び前記方法により接合された構造体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-214240
Applicant:株式会社ムサシノエンジニアリング, 島津武仁
-
常温接合方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-047360
Applicant:島津武仁, 株式会社ムサシノエンジニアリング
-
基板接合方法および基板接合装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-137882
Applicant:須賀唯知, アユミ工業株式会社
-
光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-299483
Applicant:セイコーエプソン株式会社
-
常温接合方法及び常温接合装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-241961
Applicant:三菱重工業株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
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特許第6169626号
-
特許第6169626号
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ビームスプリッタ及びそれを用いたレーザ墨出し器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-143797
Applicant:松下電工株式会社
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光共振器および波長管理モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-096853
Applicant:住友大阪セメント株式会社, 株式会社応用光電研究室
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エアーギャップ型ファブリペローエタロン
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-089940
Applicant:東洋通信機株式会社
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特許第6587204号
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特許第6169626号
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ファブリペロー型素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-255895
Applicant:横河電機株式会社
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