複合型エタロンフィルタ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010222310
Publication number (International publication number)：2012078476
Application date： Sep. 30, 2010
Publication date： Apr. 19, 2012
Summary：

【課題】レーザ装置の小型化に貢献する。【解決手段】レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、ビームスプリッタと第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、ビームスプリッタが、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第一接合膜を備え、第二の透明部材が、中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ反射膜上に第二接合膜を備え、中空部材が、中空部分の開口周囲であってビームスプリッタと対向する面及び第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、ビームスプリッタの第一接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、第二の透明部材の第二接合膜と中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

レーザ光を2系統に分割するビームスプリッタと、第二の透明部材と、前記ビームスプリッタと前記第二の透明部材との間に設けられる中空部材と、を備え、前記ビームスプリッタが、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第一接合膜を備え、前記第二の透明部材が、前記中空部材と対向する面に反射膜を備えつつ前記反射膜上に第二接合膜を備え、前記中空部材が、中空部分の開口周囲であって前記ビームスプリッタと対向する面及び前記第二の透明部材と対向する面に第三接合膜を備え、前記ビームスプリッタの第一接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合され、前記第二の透明部材の第二接合膜と前記中空部材の第三接合膜とが原子拡散接合法により接合されることを特徴とする複合型エタロンフィルタ。

IPC (2)：

G02B 5/28 , G02B 5/30

FI (2)：

G02B5/28 , G02B5/30

F-Term (10)：

2H048GA13 , 2H048GA24 , 2H048GA48 , 2H048GA51 , 2H048GA61 , 2H149AA24 , 2H149AB02 , 2H149BA03 , 2H149FC07 , 2H149FC08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (15)

特許第6587204号
特許第6587204号
原子拡散接合方法及び前記方法により接合された構造体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-214240 Applicant：株式会社ムサシノエンジニアリング, 島津武仁

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