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J-GLOBAL ID：201203071035558964

浮遊粒子の測定方法及びその装置

Inventor：
江口 博倫

About 江口 博倫


Applicant, Patent owner：
株式会社SUMCO

About 株式会社SUMCO


Agent (2)： 杉村 憲司 ,  川原 敬祐
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010260381
Publication number (International publication number)：2012112721
Application date： Nov. 22, 2010
Publication date： Jun. 14, 2012
Summary：
【課題】浮遊粒子の径及びその粒径分布を測定する方法、及び、それを可能とする測定装置を提供する。【解決手段】無塵空間に、既知の径の粒子を散布し、その空間に光を照射し、光が照射された空間を撮影し、撮影した画像に表示された画像上粒子の径を計測し、計測径と既知の粒子径である実際の径との相関を導き出す。光照射を含む撮影条件の少なくとも1つの条件を変更した撮影条件にて、撮影条件における画像上粒子の計測径と既知の粒子径である実際の径との相関を導き出すことを、多数の撮影条件の下に繰返す。蓄積された相関データを対比し、測定粒子の実際の径を同定することを特徴とする空間内粒子測定方法である。また、かかる測定方法を可能とする測定装置である。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
(1)無塵空間に、既知の径の粒子を散布し、該粒子を散布した空間に光を照射し、該光の照射方向を横切る向きから、光が照射された空間を撮影し、該撮影した画像に表示された画像上粒子の径を計測し、該計測径と既知の径である実際の径との相関を導き出す工程、 (2)前記光照射を含む撮影条件の少なくとも1つの条件を変更した撮影条件にて、前記工程(1)を繰り返し、該撮影条件における画像上粒子の計測径と既知の径である実際の径との相関を導き出すことを、多数の撮影条件の下に繰返す工程、 (3)測定対象の空間に光を照射し、該光の照射方向を横切る向きから、光が照射された空間を撮影し、該撮影した画像に表示された測定粒子である画像上粒子の径を計測し、該計測径及び当該計測時の撮影条件を前記工程(2)にて蓄積された相関データを対比し、前記測定粒子の実際の径を同定することを特徴とする粒子測定方法。
IPC (2)：
G01N 15/00 ,  G01N 15/02
FI (2)：
G01N15/00 C ,  G01N15/02 D
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (9)
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