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J-GLOBAL ID：201403031835427747

酸化亜鉛結晶層の製造方法及び酸化亜鉛結晶層並びにミスト化学気相成長装置

Inventor：
中村 有水

About 中村 有水


Applicant, Patent owner：
国立大学法人 熊本大学

About 国立大学法人 熊本大学


Agent (2)： 加藤 久 ,  久保山 隆
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013033503
Publication number (International publication number)：2014063973
Application date： Feb. 22, 2013
Publication date： Apr. 10, 2014
Summary：
【課題】安価にサファイア基板の非極性面に酸化亜鉛結晶層を形成する方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛前駆体を含む原料溶液を霧化して発生したミストをキャリアガスによって基板上に搬送し、該基板上で熱化学反応させて酸化亜鉛からなる層を形成するミスト化学気相成長法によって、表面の結晶面がa面又はm面であるサファイア基板上に酸化亜鉛を結晶成長させる酸化亜鉛結晶層の製造方法。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
酸化亜鉛前駆体を含む原料溶液を霧化して発生したミストをキャリアガスによって基板上に搬送し、該基板上で熱化学反応させて酸化亜鉛からなる層を形成するミスト化学気相成長法によって、表面の結晶面がa面又はm面であるサファイア基板上に酸化亜鉛を結晶成長させることを特徴とする酸化亜鉛結晶層の製造方法。
IPC (3)：
H01L 21/365 ,  C23C 16/40 ,  C30B 29/16
FI (3)：
H01L21/365 ,  C23C16/40 ,  C30B29/16
F-Term (56)：
4G077AA03 ,  4G077AB02 ,  4G077BB07 ,  4G077DB05 ,  4G077DB11 ,  4G077DB21 ,  4G077EA02 ,  4G077EA06 ,  4G077EC01 ,  4G077ED05 ,  4G077ED06 ,  4G077EG03 ,  4G077EG14 ,  4G077EG16 ,  4G077EG21 ,  4G077EG23 ,  4G077EG25 ,  4G077HA02 ,  4K030AA03 ,  4K030BA47 ,  4K030BB04 ,  4K030CA05 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030EA03 ,  4K030EA04 ,  4K030FA10 ,  4K030GA05 ,  4K030JA10 ,  4K030JA20 ,  4K030KA24 ,  4K030LA18 ,  5F045AA00 ,  5F045AB22 ,  5F045AB40 ,  5F045AC00 ,  5F045AC03 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AD10 ,  5F045AD11 ,  5F045AD12 ,  5F045AE29 ,  5F045AF09 ,  5F045AF13 ,  5F045BB02 ,  5F045CA11 ,  5F045DP04 ,  5F045DP05 ,  5F045DP28 ,  5F045EE02 ,  5F045EE20 ,  5F045EF02 ,  5F045EK06 ,  5F045EM10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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